半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)網(wǎng)獲悉：4月7日，青島萊西經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)管委會(huì)與上海衍梓智能科技有限公司（以下簡(jiǎn)稱“衍梓智能科技”）舉行薄膜沉積設(shè)備項(xiàng)目簽約儀式。

圖片來(lái)源：萊西經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)

 

據(jù)萊西經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)消息稱，該項(xiàng)目總投資5億元，擁有自主核心技術(shù)，投產(chǎn)后將成為該行業(yè)全國(guó)第三家、山東省首家接入芯片頭部企業(yè)生產(chǎn)線并實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)的半導(dǎo)體薄膜沉積裝備公司，對(duì)于加速突破國(guó)外技術(shù)壟斷，實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體行業(yè)關(guān)鍵零部件和裝備國(guó)產(chǎn)化具有重要意義。

 

這是萊西自復(fù)工復(fù)產(chǎn)以來(lái)迎來(lái)的首個(gè)大項(xiàng)目簽約，萊西經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)管委會(huì)表示，將持續(xù)引進(jìn)半導(dǎo)體材料區(qū)熔單晶硅、半導(dǎo)體電子特氣、擴(kuò)散片生產(chǎn)等產(chǎn)業(yè)，加速萊西市新一代信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)集聚。

 

據(jù)悉，上海衍梓智能科技有限公司專注于半導(dǎo)體核心工藝——化學(xué)薄膜沉積設(shè)備制造生產(chǎn)，其核心產(chǎn)品VPE反應(yīng)爐已實(shí)現(xiàn)自主可控。作為國(guó)內(nèi)高端半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)重要企業(yè)，衍梓智能科技團(tuán)隊(duì)由前意法半導(dǎo)體全球CEO大獎(jiǎng)及研發(fā)大獎(jiǎng)得主牽頭，有著10余年海外領(lǐng)先企業(yè)一線生產(chǎn)制造與研發(fā)經(jīng)驗(yàn)，具備完整化學(xué)薄膜沉積技術(shù)領(lǐng)域工程經(jīng)驗(yàn)與工藝經(jīng)驗(yàn)。

 

同時(shí)，中國(guó)大陸的晶圓廠新建產(chǎn)能進(jìn)程也在加快，下游晶圓廠對(duì)于國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備的友好度日漸提升。作為能夠?qū)崿F(xiàn)進(jìn)口替代的國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備廠商，預(yù)計(jì)未來(lái)衍梓智能科技在萊西布局的薄膜沉積設(shè)備項(xiàng)目將持續(xù)受益于行業(yè)高景氣度。