半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)網(wǎng)獲悉，日前，沈陽芯源微電子設(shè)備股份有限公司（以下簡稱“芯源微”）宣布，公司12寸KrF涂膠顯影設(shè)備已入駐廈門士蘭集科。

據(jù)悉，搬入儀式完成后，公司與士蘭集科簽署了戰(zhàn)略合作協(xié)議。芯源微表示，此次，公司12寸高產(chǎn)能KrF涂膠顯影量產(chǎn)機(jī)臺的交付，將會為士蘭集科提供更加高端的光刻工藝解決方案及服務(wù)，為士蘭集科后續(xù)高端產(chǎn)品穩(wěn)定量產(chǎn)、產(chǎn)線升級擴(kuò)產(chǎn)提供更為安全的供應(yīng)鏈保障。

 

官網(wǎng)顯示，芯源微成立于2002年，是由中科院沈陽自動化研究所發(fā)起創(chuàng)建的國家高新技術(shù)企業(yè)，專業(yè)從事半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售與服務(wù)，致力于為客戶提供半導(dǎo)體裝備與工藝整體解決方案。