半導體產業(yè)網獲悉，日前，沈陽芯源微電子設備股份有限公司（以下簡稱“芯源微”）宣布，公司12寸KrF涂膠顯影設備已入駐廈門士蘭集科。

據悉，搬入儀式完成后，公司與士蘭集科簽署了戰(zhàn)略合作協議。芯源微表示，此次，公司12寸高產能KrF涂膠顯影量產機臺的交付，將會為士蘭集科提供更加高端的光刻工藝解決方案及服務，為士蘭集科后續(xù)高端產品穩(wěn)定量產、產線升級擴產提供更為安全的供應鏈保障。

 

官網顯示，芯源微成立于2002年，是由中科院沈陽自動化研究所發(fā)起創(chuàng)建的國家高新技術企業(yè)，專業(yè)從事半導體生產設備的研發(fā)、生產、銷售與服務，致力于為客戶提供半導體裝備與工藝整體解決方案。