后摩爾時代的來臨，究竟給中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展帶來怎樣的新機(jī)遇？隨著芯片制造工藝逼近2納米，硅基芯片材料無法滿足行業(yè)未來進(jìn)一步發(fā)展的需要，啟用新材料是公認(rèn)的從根本上解決芯片性能問題的出路。究竟哪種半導(dǎo)體材料能夠突破重圍，誰將掌握未來芯片市場？

現(xiàn)階段，碳基半導(dǎo)體被認(rèn)為是后摩爾時代的顛覆性技術(shù)之一，但碳基功能材料如何成為半導(dǎo)體領(lǐng)域的高效利器？是否有望改變我國“芯”痛現(xiàn)狀？碳基功能材料如何與已有的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)結(jié)合？如何走出實(shí)驗(yàn)室的“玻璃房”，將自身的潛力真正發(fā)揮出來？
 

2022年8月3-5日，第二屆碳基半導(dǎo)體材料與器件產(chǎn)業(yè)發(fā)展論壇（CarbonSemi 2022）將在浙江寧波舉辦。論壇以以探索碳基半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用為切入點(diǎn)，旨在開辟新型半導(dǎo)體道路，推動“中國芯”發(fā)展。
 

【嘉賓介紹】周鵬，教授，博士生導(dǎo)師。復(fù)旦大學(xué)微電子學(xué)院副院長，2019年獲國家杰出青年科學(xué)基金資助，同年入選萬人計(jì)劃領(lǐng)軍人才，2018年入選科技部中青年創(chuàng)新領(lǐng)軍人才，同年入選上海市“曙光人才”計(jì)劃，2016年獲國家自然基金委優(yōu)秀青年資助。2013年獲上海市科技“啟明星”計(jì)劃資助，主持“上海市微納器件與工藝專業(yè)技術(shù)服務(wù)平臺”。長期從事集成電路新材料、新器件和新工藝的研究。利用新材料發(fā)明了高速與非易失兼得的新型存儲技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了高面積效率單晶體管邏輯原位存儲技術(shù)，獲得了高性能存儲器件，高效率算法和驗(yàn)證性芯片。主持了國家自然科學(xué)杰出青年基金、應(yīng)急重點(diǎn)項(xiàng)目、優(yōu)秀青年科學(xué)基金、面上基金等項(xiàng)目，參與了多項(xiàng)國家《極大規(guī)模集成電路制造技術(shù)及成套工藝》重大專項(xiàng)項(xiàng)目，參與了科技部重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃、973計(jì)劃、863重大項(xiàng)目等，獲得中組部萬人計(jì)劃科技創(chuàng)新領(lǐng)軍人才、科技部中青年科技創(chuàng)新領(lǐng)軍人才、上海市青年科技啟明星、上海市曙光計(jì)劃等人才計(jì)劃支持。

 

【嘉賓介紹】洪文晶，國家級青年人才項(xiàng)目獲得者，“優(yōu)青”，廈門大學(xué)南強(qiáng)重點(diǎn)崗位教授，廈門大學(xué)化學(xué)化工學(xué)院副院長，嘉庚實(shí)驗(yàn)室主任助理。固體表面物理化學(xué)國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，高端電子化學(xué)品國家工程研究中心，2011能源材料化學(xué)協(xié)同創(chuàng)新中心(2011-ichem.com)固定研究人員?；A(chǔ)研究方面，探索從分子創(chuàng)造智能，開展基于分子器件的智能感知、存儲和計(jì)算研究。技術(shù)創(chuàng)新方面，探索以智能創(chuàng)造分子，借助人工智能和機(jī)器人技術(shù)等深度融合開發(fā)自主驅(qū)動的分子制造系統(tǒng)，并將其應(yīng)用于半導(dǎo)體、生命健康、新材料和新能源等領(lǐng)域。團(tuán)隊(duì)還在廈門大學(xué)建設(shè)了亞洲首座對機(jī)械振動、電磁干擾實(shí)現(xiàn)充分屏蔽的無噪聲超精密加工與表征實(shí)驗(yàn)室，推動微納加工精度達(dá)到亞三納米水平。

周文利
華中科技大學(xué)教授
報(bào)告題目：基于碳納米管網(wǎng)絡(luò)的儲層計(jì)算

【嘉賓介紹】周文利，華中科技大學(xué)光學(xué)與電子信息學(xué)院、武漢光電國家研究中心雙聘教授，博士生導(dǎo)師。2004年畢業(yè)于香港中文大學(xué)自動化與計(jì)算機(jī)輔助工程系微納系統(tǒng)實(shí)驗(yàn)室，獲哲學(xué)博士學(xué)位，2004-2005年繼續(xù)從事博士后研究工作。2014-2015在加州大學(xué)洛杉磯分校微系統(tǒng)實(shí)驗(yàn)室訪問交流。長期從事微納電子器件與集成電路系統(tǒng)方面的科研工作，發(fā)表和與人合作發(fā)表論文逾80篇，已授權(quán)國家發(fā)明專利和集成電路布圖設(shè)計(jì)專有權(quán)30余項(xiàng)，申請國際專利（PCT）2項(xiàng)（授權(quán)1項(xiàng)）。主要研究方向?yàn)樘蓟骷c系統(tǒng)、FPGA芯片應(yīng)用與嵌入式系統(tǒng)，近年來的主要研究興趣是碳基新器件、集成電路芯片和AI系統(tǒng)。
 

【嘉賓介紹】劉華平，中科院物理所研究員，博士生導(dǎo)師，曾入選國家海外高層次人才青年項(xiàng)目。他是國際上最早利用凝膠色譜分離碳納米管手性結(jié)構(gòu)，并取得國際領(lǐng)先成果的人員之一。他發(fā)展了多種分子調(diào)控技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了近20 種單一手性碳納米管毫克量級分離。作為第一作者或通訊作者在Science Advance, Nature Communications, Nano Letters，ACS Nano，Adv. Funct. Mater.等國際學(xué)術(shù)期刊發(fā)表論文70 余篇，研究成果曾被Nanowerk news, Research blogging 等門戶網(wǎng)站報(bào)道，曾獲日本飯島獎、中國第五屆納米之星創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)大賽團(tuán)隊(duì)組二等獎，獲授專利10余項(xiàng)。

【嘉賓介紹】劉舉慶，南京工業(yè)大學(xué)教授，博士生導(dǎo)師。主要從事信息存儲、信息顯示與柔性電子等領(lǐng)域研究。已發(fā)表論文80余篇，申請或授權(quán)發(fā)明專利20余項(xiàng),在國際和各類雙邊會議上作邀請報(bào)告30余次。目前主持包括國家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃課題、國家自然科學(xué)基金優(yōu)青/面上等多項(xiàng)。獲教育部高等學(xué)校科學(xué)研究成果一等獎、江蘇省高等學(xué)?？茖W(xué)技術(shù)研究成果一等獎。

【嘉賓介紹】柳鵬，清華大學(xué)副教授，主要從事碳納米管和石墨烯等納米材料研究，重點(diǎn)關(guān)注碳納米材料電子發(fā)射特性，發(fā)展了性能穩(wěn)定的電子發(fā)射體；發(fā)展了快速表征大面積二維材料并研究其表面現(xiàn)象的低能量電子透射衍射及成像的方法和理論，研制了相關(guān)儀器設(shè)備，已經(jīng)為多個單位完成相關(guān)測試；研究了化學(xué)氣相沉積碳納米管生長過程中的電子學(xué)效應(yīng)，利用金屬和半導(dǎo)體型CNT態(tài)密度的差異，實(shí)現(xiàn)了高純半導(dǎo)體CNT水平陣列的生長。在Nat. Catal., Nat. Comm., Sci. Adv.等雜志發(fā)表論文多篇，獲批發(fā)明專利多項(xiàng)。

 

【嘉賓介紹】楊軼，清華大學(xué)集成電路學(xué)院副教授、博士生導(dǎo)師。2001年本科畢業(yè)于復(fù)旦大學(xué)電子工程系，2006年獲清華大學(xué)博士學(xué)位。曾任清華大學(xué)微納電子系/微電子所研究生工作組組長，現(xiàn)任清華大學(xué)集成電路學(xué)院黨委副書記。長期致力于智能微納器件與系統(tǒng)的研究，在二維納電子器件、納米聲學(xué)器件、集成諧振器件、柔性電子器件及其應(yīng)用系統(tǒng)等方面取得多項(xiàng)重要創(chuàng)新性成果。承擔(dān)和參與國家重大科技專項(xiàng)、國家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃、國家公益性行業(yè)科技專項(xiàng)、973課題、863課題、國家自然科學(xué)基金重點(diǎn)項(xiàng)目和省部級科研項(xiàng)目等10余項(xiàng)。

 

【嘉賓介紹】楊思維，中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所助理研究員，2017年于中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所獲博士學(xué)位，同年獲中國科學(xué)院院長特別獎學(xué)金。2018年獲中國科學(xué)院優(yōu)秀博士學(xué)位論文。博士及博士后期間主要從事石墨烯量子點(diǎn)的宏量制備、光學(xué)性能調(diào)控及生物應(yīng)用開發(fā)、石墨烯量子點(diǎn)在生物醫(yī)藥領(lǐng)域的應(yīng)用探索、新型碳基二維半導(dǎo)體材料的設(shè)計(jì)與制備等工作。

 

【嘉賓介紹】主要負(fù)責(zé)泰克華東區(qū)域的技術(shù)支持工作，為泰克半導(dǎo)體領(lǐng)域測試專家。多年以來一直在從事測試測量相關(guān)工作，積累了豐富的測試經(jīng)驗(yàn)。目前主攻方向包括低電平信號測試、射頻/射頻元器件測試以及寬帶信號產(chǎn)生與分析、信號完整性測試、半導(dǎo)體自動化測試系統(tǒng)等。

 

【嘉賓介紹】趙建文，中科院蘇州納米所研究員，博士生導(dǎo)師。2008年畢業(yè)于中國科學(xué)院理化技術(shù)研究所，獲理學(xué)博士學(xué)位。從2009年1月起在新加坡南洋理工大學(xué)從事博士后研究工作；2011年1月加入中科院蘇州納米所。從2009年1月起一直從事印刷碳基薄膜晶體管與相關(guān)技術(shù)研究（包括碳基電子材料、器件、電路及其新興領(lǐng)域中的應(yīng)用研究）。先后主持和參與印刷碳納米管電子器件和電路相關(guān)研究項(xiàng)目20余項(xiàng)（包括科技部、國家自然基金委、中科院等）。最近三年，發(fā)表碳基電子器件和電路研究論文30余篇。獲授權(quán)的碳基電子材料和器件專利13項(xiàng)。撰寫《印刷碳納米管薄膜晶體管技術(shù)與應(yīng)用》著作1本（2020年高教出版社出版）。

 

【嘉賓介紹】馮衍，中科院上海光機(jī)所研究員、國科大杭高院雙聘教授。主要從事精密激光技術(shù)與非線性光學(xué)研究，在拉曼激光器、鈉導(dǎo)星激光器、非線性相位調(diào)控等方面開展了系統(tǒng)性工作，取得一些成績。獲得德國Berthold Leibinger 激光創(chuàng)新獎，中科院優(yōu)秀導(dǎo)師獎，中國僑界貢獻(xiàn)（創(chuàng)新人才）獎等榮譽(yù)。

 

【嘉賓介紹】吳衛(wèi)平，中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所研究員、上海大學(xué)微電子學(xué)院教授，博士生導(dǎo)師。主要從事光電功能材料、低維半導(dǎo)體材料、光電器件和傳感器等方面的研究，特別是微納、柔性、可印刷的新型半導(dǎo)體材料，如二維材料（石墨烯、過渡金屬硫族化合物TMDCs等），納米碳材料，量子點(diǎn)和有機(jī)半導(dǎo)體等新材料。以新型半導(dǎo)體材料和光電功能材料構(gòu)筑場效應(yīng)晶體管、發(fā)光二極管、存儲器、光探測器、傳感器等器件，采用電子束光刻（EBL）、聚焦離子束刻蝕（FIB）等微納加工方法，制備納米器件、微納集成電路和光學(xué)超材料，研究材料物理性質(zhì)、器件物理、光電子器件及其集成和應(yīng)用。

 

【嘉賓介紹】魏興戰(zhàn)，博士，研究員，博士生導(dǎo)師，中國科學(xué)院重慶綠色智能技術(shù)研究院微納制造與系統(tǒng)集成中心副主任。從事低維材料及其光電探測器研究，主持科技部國家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃、國家自然科學(xué)基金面上等10余個項(xiàng)目，發(fā)表學(xué)術(shù)論文60余篇，申請發(fā)明專利30余項(xiàng)。

 

【嘉賓介紹】朱夢劍，國防科技大學(xué)前沿交叉學(xué)科學(xué)院研究員， 碳基納米器件實(shí)驗(yàn)室負(fù)責(zé)人，長期從事石墨烯等新型低維碳基半導(dǎo)體器件與集成研究。先后取得了以“石墨烯高速射頻晶體管”、“石墨烯熱電子光源”、 “石墨烯霍爾磁傳感器”以及“激光與石墨烯相互作用”等為代表的一系列重要創(chuàng)新成果，多次被科技日報(bào)、新浪科技和鳳凰新聞等主流媒體宣傳報(bào)道。作為項(xiàng)目負(fù)責(zé)人主持了國家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃課題、國家自然科學(xué)基金面上項(xiàng)目等 10 項(xiàng)重要課題。獲國家優(yōu)秀留學(xué)生獎學(xué)金和湖南省光學(xué)進(jìn)展獎，入選湖南省首批高層次科技創(chuàng)新人才工程、湖南省“湖湘青年英才” 和湖南省杰 青等人才工程。

桑丹丹

【嘉賓介紹】桑丹丹，聊城大學(xué)副教授，在Applied Physics Letters、Nanotechnology、Journal of Materials Chemistry C等發(fā)表研究論文50余篇，建立了金剛石基異質(zhì)結(jié)載流子傳輸模型，探索了高溫下異質(zhì)結(jié)的電學(xué)整流特性、電傳輸行為和負(fù)微分電阻行為，闡明了載流子傳輸、復(fù)合和隧穿過程的物理機(jī)制。為新型耐高溫光電器件的開發(fā)和應(yīng)用提供理論和實(shí)驗(yàn)依據(jù)。

 

(研究方向：碳基散熱、金剛石大單晶與器件)

【嘉賓介紹】江南，博士、國家海外高層次特聘專家。1997年博士畢業(yè)于日本大阪大學(xué)，現(xiàn)任中科院寧波材料技術(shù)與工程研究所研究員。目前主要從事功能碳素材料，包括CVD金剛石、石墨烯、石墨高導(dǎo)熱復(fù)合材料及其相關(guān)器件研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用工作。

 

【嘉賓介紹】：李忠輝，研究員、博士生導(dǎo)師，中國電子科技集團(tuán)公司首席專家。主要從事寬禁帶與碳基半導(dǎo)體材料關(guān)鍵技術(shù)研究。獲授權(quán)發(fā)明專利30余項(xiàng)。主持完成重點(diǎn)科研項(xiàng)目10余項(xiàng)，獲得國家級獎勵2項(xiàng)。入選江蘇省“333高層次人才培養(yǎng)工程”和“南京市有突出貢獻(xiàn)中青年專家”。

 

【嘉賓介紹】于洪宇，目前擔(dān)任深港微電子學(xué)院院長、教授，主要研究工作包括CMOS、新型超高密度存儲器、GaN器件與系統(tǒng)集成及電子陶瓷，發(fā)表學(xué)術(shù)論文近400篇，其中近190篇被SCI收錄，總他引次數(shù)近5000次，H影響因子為41，撰寫了4本專業(yè)書籍的章節(jié)并編輯2本書籍，已發(fā)表/授權(quán)23項(xiàng)美國/歐洲專利以及76項(xiàng)國內(nèi)專利。成功籌建南科大深港微電子學(xué)院（國家示范性微電子學(xué)院）、未來通信集成電路教育部工程研究中心、廣東省GaN器件工程技術(shù)中心、廣東省三維集成工程研究中心和深圳市第三代半導(dǎo)體重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室。

 

【嘉賓介紹】張清純教授，現(xiàn)任復(fù)旦大學(xué)工程與應(yīng)用技術(shù)研究院特聘教授，博士生導(dǎo)師，上海碳化硅功率器件工程技術(shù)研究中心主任，復(fù)旦大學(xué)超越照明研究所副所長，專長于寬禁帶半導(dǎo)體物理與器件的教學(xué)、科研、應(yīng)用與產(chǎn)業(yè)化，長期從事SiC器件的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化，是該領(lǐng)域國際知名專家。迄今已撰寫100余篇科技論文和SiC器件領(lǐng)域?qū)Ｖ?；多次受邀在國際碳化硅、功率半導(dǎo)體的學(xué)術(shù)會議上作大會報(bào)告；作為第一和合作發(fā)明人，擁有75多項(xiàng)美國專利；多次擔(dān)任ISPSD技術(shù)委員會成員和碳化硅器件分會主席；曾任國際電力電子技術(shù)路線圖研討會聯(lián)合主席等。

 

【復(fù)旦大學(xué)寧波研究院介紹】復(fù)旦大學(xué)寧波研究院寬禁帶半導(dǎo)體材料與器件研究所由復(fù)旦大學(xué)寧波研究院牽頭，聯(lián)合復(fù)旦大學(xué)工程與應(yīng)用技術(shù)研究院共同組建，聚焦寬禁帶半導(dǎo)體材料缺陷表征、器件設(shè)計(jì)、器件制造工藝、封裝工藝開發(fā)等主要方向，以市場需求為導(dǎo)向，技術(shù)創(chuàng)新研發(fā)為動力，高端人才培養(yǎng)為支撐，采用政府引導(dǎo)、高校支撐、企業(yè)聯(lián)合研發(fā)、全產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同的政產(chǎn)學(xué)研相結(jié)合的模式，重點(diǎn)突破寬禁帶半導(dǎo)體材料與器件關(guān)鍵共性技術(shù)及先進(jìn)制造工藝，聯(lián)合上下游建立虛擬IDM模式，打造寧波寬禁帶半導(dǎo)體優(yōu)勢產(chǎn)業(yè)集群。

 

(研究方向：金剛石高功率電子器件熱管理)

【嘉賓介紹】李成明，北京科技大學(xué)教授。研究方向主要包括有金剛石與類金剛石膜制備、金剛石膜電子器件研究與應(yīng)用、氮化物薄膜（包括TiN，CrN，ZrN，TiAlN及其多層和復(fù)合膜）的腐蝕和耐磨損性能、金剛石與硬質(zhì)合金復(fù)合材料的制備與性能、等離子體表面合金化與等離子體診斷。先后主持國家“863”研究計(jì)劃、國家自然科學(xué)基金、省部自然基金、國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室基金項(xiàng)目等多項(xiàng)。參加編寫專著兩部，參加制定和審議中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)兩項(xiàng)。先后發(fā)表學(xué)術(shù)論文170多篇，其中SCI收錄論文超過80篇，申請中國專利和國際專利37項(xiàng)。

 

【嘉賓介紹】王宏興，西安交通大學(xué)教授，電子物理與器件教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室主任。中國真空學(xué)會常務(wù)理事，陜西真空學(xué)會常務(wù)副理事長。2001年在日本德島大學(xué)獲得博士學(xué)位，其后作為高級研究員、執(zhí)行董事、研發(fā)經(jīng)理等職在日本Seki technotron 等公司工作。于2013年全職回國加入西安交通大學(xué)。主要研究領(lǐng)域?yàn)椋喊雽?dǎo)體生長用MOCVD，MPCVD；III-V氮化物材料及發(fā)光器件；大尺寸單晶金剛石及電子器件；金剛石基GaN復(fù)合器件；量子光源及傳感器。多項(xiàng)成果被采納用于規(guī)?；a(chǎn)。擁有100余項(xiàng)專利，發(fā)表文章120余篇。

 

【嘉賓介紹】張金風(fēng)，西安電子科技大學(xué)微電子學(xué)院教授。2000年和2006年分別獲得西安電子科技大學(xué)電子科學(xué)與技術(shù)學(xué)士學(xué)位和微電子學(xué)與固體電子學(xué)博士學(xué)位，隨后留校任教。主要研究氮化鎵(GaN) 和金剛石(C) 半導(dǎo)體材料和器件。出版國內(nèi)第一部氮化物半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)Ｖ兜飳捊麕О雽?dǎo)體材料和電子器件》（科學(xué)出版社, 2013）及其英文版（CRC Press, 2017）, 發(fā)表學(xué)術(shù)論文70余篇，授權(quán)國家發(fā)明專利10余項(xiàng)，獲得教育部高等學(xué)校科學(xué)研究優(yōu)秀成果獎技術(shù)發(fā)明獎一等獎和陜西省科學(xué)技術(shù)獎一等獎。研究成果包括IEEE Electron Device Letters對中國金剛石場效應(yīng)管研究的首次和第二次報(bào)道（均為2017年）和Applied Physics Letters首次對中國金剛石核探測器的研究報(bào)道（2020）。

 

【嘉賓介紹】王亞，中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)物理學(xué)院近代物理系教授，博士生導(dǎo)師。于2012年獲得中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)理學(xué)博士學(xué)位。之后在德國斯圖加特大學(xué)做博士后研究，2016年回到中科大工作。主要從事固態(tài)量子體系的制備、量子控制以及量子計(jì)算網(wǎng)絡(luò)等方面的研究。

 

【嘉賓介紹】長期從事寬禁帶半導(dǎo)體表征和熱管理研究工作。曾先后加入英、美知名大學(xué)寬禁帶研究團(tuán)隊(duì)從事科學(xué)研究。在薄膜尺度熱反射表征方法(transient thermoreflectance)、聲子熱輸運(yùn)理論、以及(超)寬禁帶半導(dǎo)體器件設(shè)計(jì)等領(lǐng)域具有一定的技術(shù)優(yōu)勢和科研特色。現(xiàn)承擔(dān)多個國家/省部級重大戰(zhàn)略需求的縱向科研項(xiàng)目，長期和國內(nèi)外知名半導(dǎo)體集成電路企業(yè)和機(jī)構(gòu)合作，如華為、武漢新芯、化合積電和Ampleon等。

 

【嘉賓介紹】蔚翠，研究員，博士。2011年6月博士畢業(yè)于浙江大學(xué)。目前在中國電科13所專用集成電路重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室從事石墨烯和金剛石碳基高頻大功率半導(dǎo)體材料與器件研究。入選河北省青年拔尖人才。2017年度中國電科集團(tuán)青年拔尖人才。獲河北省杰出青年科學(xué)基金資助。

 

【嘉賓介紹】畢業(yè)于湖南大學(xué)機(jī)械設(shè)計(jì)制造及其自動化專業(yè)。現(xiàn)任元素六亞洲戰(zhàn)略業(yè)務(wù)總監(jiān)。

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Luna

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