《科創(chuàng)板日報(bào)》8日訊，默克公司宣布與美光科技合作開發(fā)用于半導(dǎo)體工藝、能降低全球變暖趨勢的氣體解決方案。默克表示，經(jīng)過一年的持續(xù)合作，美光科技目前正在測試默克研發(fā)部門提供的低GWP替代性蝕刻氣體，以驗(yàn)證其制程性能，從而取代傳統(tǒng)的高GWP材料，目標(biāo)在半導(dǎo)體制程中導(dǎo)入全新且更具可持續(xù)性的氣體解決方案。