1月11日，廣東省能源局發(fā)布廣東芯粵能半導(dǎo)體有限公司“面向車規(guī)級(jí)和工控領(lǐng)域的碳化硅芯片制造項(xiàng)目”節(jié)能報(bào)告的審查意見：項(xiàng)目采用的主要技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)和建設(shè)方案符合國(guó)家相關(guān)節(jié)能法規(guī)及節(jié)能政策的要求，原則同意該項(xiàng)目節(jié)能報(bào)告。

該項(xiàng)目主要建設(shè)內(nèi)容包括：建設(shè)年產(chǎn)24萬片6英寸碳化硅基晶圓芯片生產(chǎn)線，主要建構(gòu)筑物包括生產(chǎn)廠房、生產(chǎn)調(diào)度廠房、研發(fā)廠房、綜合動(dòng)力站、綜合倉庫、硅烷站、化學(xué)品庫、廢水處理站、危險(xiǎn)品庫、大宗氣站等，主要設(shè)備包括光刻機(jī)、涂膠顯影機(jī)、刻蝕機(jī)、烘箱、高溫氧化爐管、高溫激活爐管、清洗機(jī)、冷水機(jī)組、純水制備系統(tǒng)、燃?xì)忮仩t等。

項(xiàng)目能耗量和主要能效指標(biāo)：項(xiàng)目建成投產(chǎn)后，年綜合能耗不高于10277噸標(biāo)準(zhǔn)煤（當(dāng)量值），其中年電力消耗量不高于6450萬千瓦時(shí)、天然氣消耗量不高于175萬立方米；項(xiàng)目集成電路晶圓制造單位產(chǎn)品電耗不高于0.72千瓦時(shí)/平方厘米。

2022年11月21日，廣東芯粵能半導(dǎo)體有限公司芯片制造項(xiàng)目潔凈室啟動(dòng)。

（來源：集微網(wǎng)）