設(shè)備是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的基石，也是國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)最為薄弱的環(huán)節(jié)之一。經(jīng)過數(shù)十年來的努力，國(guó)內(nèi)已經(jīng)誕生了盛美上海、北方華創(chuàng)、中微公司、凱世通、和研科技等杰出的半導(dǎo)體設(shè)備廠商，但國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備的核心零部件普遍依賴于進(jìn)口，不但制約了國(guó)內(nèi)廠商的獲利能力，還將因國(guó)際貿(mào)易摩擦面臨供應(yīng)鏈斷鏈風(fēng)險(xiǎn)。

 

 

近年來，隨著全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展，帶動(dòng)半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模連續(xù)三年實(shí)現(xiàn)增長(zhǎng)。不過，在半導(dǎo)體行業(yè)進(jìn)入下行周期，及美國(guó)對(duì)中國(guó)的出口禁令影響下，2023年半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)需求萎縮似乎已成定局。

 

相關(guān)數(shù)據(jù)顯示，2022 年全球半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模達(dá)到 1085 億美元，創(chuàng)出歷史新高，但2023年將出現(xiàn)4年來的首次負(fù)增長(zhǎng)。

 

從全球半導(dǎo)體設(shè)備巨頭的情況來看，應(yīng)用材料近期公布數(shù)據(jù)稱，預(yù)計(jì)2023年2月至4月的營(yíng)收額為60億至68億美元，比上年同期減少4%至9%。應(yīng)用材料還表示，由于貿(mào)易限制，預(yù)計(jì)2023財(cái)年的收入損失將高達(dá)25億美元。

 

泛林集團(tuán)也曾發(fā)出警示，由于美國(guó)限制向中國(guó)出口高端技術(shù)，其2023年的收入可能將減少20億至25億美元。同時(shí)，其CEO蒂姆·阿徹（Tim Archer）近期的電話會(huì)議上表示，今年芯片設(shè)備的整體市場(chǎng)規(guī)模將降至約750億美元，較去年減少約200億美元。并宣布將在全球范圍內(nèi)裁員約1300人。

 

由上可知，半導(dǎo)體市場(chǎng)的下行周期已經(jīng)逐步蔓延至上游設(shè)備環(huán)節(jié)。但與全球市場(chǎng)不同的是，中芯國(guó)際、中芯集成、晶合集成、華虹半導(dǎo)體、燕東微、上海積塔、粵芯半導(dǎo)體等國(guó)內(nèi)晶圓廠仍處于擴(kuò)產(chǎn)周期，并開啟了新一輪的規(guī)?；少徳O(shè)備。

 

據(jù)統(tǒng)計(jì)，目前半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)已經(jīng)有所回暖。2023年1月，北方華創(chuàng)、中微公司、盛美上海、華海清科、應(yīng)用材料、KLA等企業(yè)合計(jì)中標(biāo)331臺(tái)設(shè)備，數(shù)量接近2022年四季度（357臺(tái)）中標(biāo)總和。

 

其次，由于國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備依然嚴(yán)重依賴于進(jìn)口，因此設(shè)備國(guó)產(chǎn)化的趨勢(shì)還將持續(xù)?；诠?yīng)鏈安全、節(jié)約設(shè)備成本、定制化要求及本土化優(yōu)質(zhì)售后服務(wù)等因素的考量下，國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備已成為國(guó)內(nèi)晶圓廠的重要選擇。在上述2023年1月半導(dǎo)體設(shè)備廠商中標(biāo)的331臺(tái)設(shè)備中，國(guó)內(nèi)設(shè)備廠商合計(jì)中標(biāo)248臺(tái)設(shè)備，占比高達(dá)74.92%。

 

 

值得一提的是，盡管國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備正在加速導(dǎo)入國(guó)內(nèi)晶圓廠，但國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備廠商的核心零部件同樣高度依賴進(jìn)口，導(dǎo)致國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備約70%的利潤(rùn)被國(guó)外核心零部件供應(yīng)商所攫取。

 

對(duì)此，國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的劃片機(jī)廠商和研科技表示，由于國(guó)產(chǎn)零部件的附加值普遍不高，在精密加工、材料選擇、表面處理、零件精度等方面與進(jìn)口零件存在差距，使產(chǎn)品在良率上無法達(dá)標(biāo)，因此國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備廠商的核心零部件主要依賴進(jìn)口。

 

資料顯示，半導(dǎo)體零部件可分為工藝消耗零部件和設(shè)備制造零部件。工藝消耗零部件為耗材，直接出售給晶圓廠商，需要定期進(jìn)行檢修與更換；設(shè)備制造零部件則直接出售給設(shè)備廠，用于制作設(shè)備腔體、管道和支撐結(jié)構(gòu)等。

 

如上文所述，美國(guó)10月出臺(tái)對(duì)中國(guó)的出口禁令影響下，部分國(guó)內(nèi)晶圓廠在進(jìn)口半導(dǎo)體方面已然受阻，而工藝消耗零部件方面同樣面臨該情形。

 

據(jù)了解，目前應(yīng)用材料、泛林集團(tuán)、科磊等美國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備大廠已經(jīng)暫停了對(duì)于多家國(guó)內(nèi)晶圓廠的銷售和技術(shù)支持，后續(xù)對(duì)部分大陸客戶采購的設(shè)備/零部件訂單交付、安裝及技術(shù)支持將無法繼續(xù)。

 

泛林集團(tuán)CEO蒂莫西·阿徹曾表示：“我們已采取必要措施確保完全遵守新規(guī)則，并根據(jù)需要停止發(fā)貨和提供支持。”在此情況下，國(guó)內(nèi)晶圓廠采購的工藝消耗零部件亟待國(guó)產(chǎn)化。

 

關(guān)于設(shè)備制造零部件方面，和研科技指出，現(xiàn)階段來看，零部件受到國(guó)際貿(mào)易摩擦影響較小。

 

不過，無論是以應(yīng)對(duì)美國(guó)貿(mào)易限制措施的進(jìn)一步升級(jí)，還是從提升公司成本效益的角度來考量，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備廠商都需要提前防范，加速零部件國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程。

 

 

基于供應(yīng)鏈安全考量，當(dāng)前導(dǎo)入國(guó)產(chǎn)零部件已經(jīng)成為半導(dǎo)體行業(yè)趨勢(shì)。據(jù)集微網(wǎng)不完全統(tǒng)計(jì)，包括中芯國(guó)際、盛美上海、北方華創(chuàng)、中微公司、至純科技、華海清科、芯源微、和研科技在內(nèi)的半導(dǎo)體設(shè)備廠商都在積極推進(jìn)零部件國(guó)產(chǎn)化。

 

一方面，半導(dǎo)體設(shè)備廠商通過尋找合作企業(yè)聯(lián)合攻關(guān)，推進(jìn)零部件國(guó)產(chǎn)化。

 

受益于此，新萊應(yīng)材、中科儀、珂瑪科技、富創(chuàng)精密、華卓精科、神工股份、江豐電子、華亞智能等國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體零部件廠商得以快速成長(zhǎng)。2022年，新萊應(yīng)材實(shí)現(xiàn)營(yíng)收26.30億元，同比增長(zhǎng)28.04%；凈利潤(rùn)3.50億元，同比增長(zhǎng)106.11%；富創(chuàng)精密實(shí)現(xiàn)營(yíng)業(yè)收入15.43億元，同比增長(zhǎng)83.05%；凈利潤(rùn)2.4億元，同比增長(zhǎng)89.71%；江豐電子實(shí)現(xiàn)營(yíng)收為23.24億元，同比增長(zhǎng)45.83%；凈利潤(rùn)為2.70億元，同比增長(zhǎng)153.65%。

 

據(jù)中報(bào)披露，新萊應(yīng)材已經(jīng)與世界頂級(jí)半導(dǎo)體制造設(shè)備企業(yè) AMAT 加大半導(dǎo)體產(chǎn)品的合作，中國(guó)領(lǐng)先的存儲(chǔ)器芯片設(shè)計(jì)與制造公司長(zhǎng)江存儲(chǔ)、合肥長(zhǎng)鑫等在高端真空閥門等產(chǎn)品方面也有深入合作，氣體管道及氣體控制元件也在深入國(guó)產(chǎn)替代化，與中國(guó)國(guó)內(nèi)最大的半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商北方華創(chuàng)在半導(dǎo)體領(lǐng)域展開全面合作。

 

神工股份表示，公司配合中國(guó)國(guó)內(nèi)刻蝕機(jī)設(shè)備原廠北方華創(chuàng)、中微公司開發(fā)的硅零部件產(chǎn)品，適用于12英寸等離子刻蝕機(jī)，已逐步定型并實(shí)現(xiàn)小批量供貨，同時(shí)能夠滿足刻蝕機(jī)設(shè)備原廠不斷提升的技術(shù)升級(jí)要求。

 

華亞智能表示，公司的半導(dǎo)體設(shè)備零部件包括用于半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域的刻蝕氣體輸送中心結(jié)構(gòu)件、氣體輸送裝置結(jié)構(gòu)件、檢測(cè)設(shè)備成像檢測(cè)平臺(tái)結(jié)構(gòu)件等結(jié)構(gòu)件產(chǎn)品。

 

國(guó)內(nèi)高純?yōu)R射靶材龍頭廠商江豐電子也在快速向半導(dǎo)體零部件業(yè)務(wù)拓展，并與國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備龍頭北方華創(chuàng)、拓荊科技、芯源微、上海盛美、上海微電子、屹唐科技等多家廠商聯(lián)合攻關(guān)、形成全面戰(zhàn)略合作關(guān)系。

 

此外，A股特種閥門供應(yīng)商蘇州神通也瞄準(zhǔn)了半導(dǎo)體零部件市場(chǎng)。蘇州神通2月9日在互動(dòng)平臺(tái)上表示，公司近期新設(shè)立了子公司“神通半導(dǎo)體科技（南通）有限公司”，該子公司主要研發(fā)生產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備用特種閥門以配套半導(dǎo)體及光伏設(shè)備所需關(guān)鍵零部件及產(chǎn)業(yè)鏈所需核心零部件方面的產(chǎn)品，目前該公司處于初創(chuàng)階段。

 

 

另一方面，國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商也通過自身技術(shù)攻克，或是并購上游廠商，布局關(guān)鍵零部件業(yè)務(wù)。

 

事實(shí)上，關(guān)鍵零部件對(duì)于半導(dǎo)體設(shè)備的穩(wěn)定性、產(chǎn)能、精度的影響非常大，因此包括ASML、應(yīng)用材料、愛德萬、泰瑞達(dá)等國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備大廠都在積極自研零部件，或是并購上游零部件廠商，比如ASML收購Cymer、泰瑞達(dá)收購MiR、AutoGuide等。

 

國(guó)內(nèi)方面，據(jù)不完全統(tǒng)計(jì)顯示，包括和研科技、晶盛機(jī)電、至純科技、光力科技在內(nèi)的半導(dǎo)體設(shè)備廠商均已布局零部件業(yè)務(wù)。

 

和研科技稱，受益于零部件國(guó)產(chǎn)化的機(jī)遇，公司致力于多元化發(fā)展，為客戶提供更多選擇空間。已具備半導(dǎo)體后道磨片設(shè)備、劃片設(shè)備、配套設(shè)備以及部分零部件自主研發(fā)、設(shè)計(jì)、生產(chǎn)能力，去年蘇州公司（蘇州和研精密科技有限公司）的成功投產(chǎn)，其工廠生產(chǎn)的零部件KIT治具已經(jīng)批量導(dǎo)入市場(chǎng)，也標(biāo)志著公司布局零部件國(guó)產(chǎn)化的決心。

 

至純科技2月22日也在互動(dòng)平臺(tái)上表示，公司已布局個(gè)別工序段部分零部件制造業(yè)務(wù)。

 

晶盛機(jī)電指出，公司不斷加大新產(chǎn)品研發(fā)力度，成功開發(fā)出石英坩堝、金剛線、半導(dǎo)體精密零部件等核心輔材耗材等新的業(yè)務(wù)領(lǐng)域，逐步完善產(chǎn)業(yè)鏈產(chǎn)品配套體系。

 

光力科技則通過建設(shè)精密高剛度空氣主軸研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化可轉(zhuǎn)債項(xiàng)目，大幅提高公司對(duì)空氣主軸等核心零部件產(chǎn)品的研發(fā)和生產(chǎn)能力。

 

此外，并購上游零部件廠商也逐漸成為國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)趨勢(shì)。早在2020年，萬業(yè)企業(yè)就通過收購全球領(lǐng)先的氣體輸送系統(tǒng)領(lǐng)域零組件及流量控制解決方案供應(yīng)商Compart Systems，布局半導(dǎo)體零部件業(yè)務(wù)。

 

2023年2月6日，為增強(qiáng)成本管控能力和核心零部件供應(yīng)保障，盛美上海也宣布收購最大外部供應(yīng)商韓國(guó)機(jī)器人公司NIEBELL20%股權(quán)。

 

 

基于復(fù)雜多變的國(guó)際貿(mào)易環(huán)境，如何構(gòu)建更加安全穩(wěn)健的供應(yīng)鏈已經(jīng)成為國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的重心。

 

當(dāng)前，國(guó)內(nèi)晶圓廠、半導(dǎo)體設(shè)備廠商已經(jīng)從積極備貨、超量采購，逐漸轉(zhuǎn)變?yōu)樽匝泻诵牧悴考?，尋找合作企業(yè)聯(lián)合攻關(guān)，積極推進(jìn)零部件國(guó)產(chǎn)化。相信在不久的將來，產(chǎn)業(yè)會(huì)有越來越多國(guó)產(chǎn)零部件廠商涌現(xiàn)，國(guó)產(chǎn)晶圓廠、半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)受制于歐美、日本等廠商核心零部件的局面也將大為改觀。

 

來源：集微網(wǎng)