近日,中國電科55所與一汽聯(lián)合推動碳化硅功率器件及模組科技創(chuàng)新,研發(fā)的首款750V碳化硅功率芯片完成樣品流片,首款全國產(chǎn)1200V塑封2in1碳化硅功率模塊完成A樣件試制。
中國電科消息稱,在750V碳化硅功率芯片項目中,雙方技術(shù)團(tuán)隊從結(jié)構(gòu)設(shè)計、工藝技術(shù)、材料應(yīng)用維度開展聯(lián)合攻關(guān),推動碳化硅功率芯片技術(shù)達(dá)到國際先進(jìn)水平。目前,已進(jìn)入產(chǎn)品級測試階段。
而在2in1碳化硅功率模塊項目中,雙方技術(shù)團(tuán)隊圍繞新結(jié)構(gòu)、新工藝、新材料開展聯(lián)合攻關(guān),實現(xiàn)芯片襯底與外延材料制備、芯片晶圓設(shè)計與生產(chǎn)、封裝結(jié)構(gòu)設(shè)計、塑封工藝開發(fā)與模塊試制等關(guān)鍵環(huán)節(jié)全流程自主創(chuàng)新,為碳化硅功率半導(dǎo)體設(shè)計與生產(chǎn)全自主化、全國產(chǎn)化打下基礎(chǔ)。
未來,55所將持續(xù)強(qiáng)化產(chǎn)業(yè)鏈上下游聯(lián)合攻關(guān),推動碳化硅功率器件及模組關(guān)鍵核心技術(shù)自主創(chuàng)新;今年初,中國電科46所也成功制備出我國首顆6英寸氧化鎵單晶。當(dāng)時消息指出,該成果系“國內(nèi)第一”且“達(dá)到國際最高水平”。