2023年5月5-7日，“2023碳化硅關(guān)鍵裝備、工藝及其他新型半導(dǎo)體技術(shù)發(fā)展論壇”在長沙召開。論壇在第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟的指導(dǎo)下，由極智半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)網(wǎng)與中國電子科技集團(tuán)第四十八研究所等單位聯(lián)合組織。論壇圍繞“碳化硅襯底、外延及器件相關(guān)裝備產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新發(fā)展”、“關(guān)鍵零部件及制造工藝創(chuàng)新突破”、“產(chǎn)業(yè)鏈上下游協(xié)同創(chuàng)新”、“氮化鎵與氧化鎵等其他新型半導(dǎo)體”，邀請(qǐng)產(chǎn)業(yè)鏈上下游的企業(yè)及高?？蒲性核砩钊胙杏懀瑪y手促進(jìn)國內(nèi)碳化硅及其他半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。

期間，在“碳化硅關(guān)鍵裝備、工藝及配套材料技術(shù)”分論壇上，寧波恒普真空科技股份有限公司產(chǎn)品工程師胡匡分享了“碳化硅長晶用碳化鉭技術(shù)”主題報(bào)告。

恒普是一家以材料研究為基礎(chǔ)的公司，致力于為半導(dǎo)體領(lǐng)域提供整體解決方案。報(bào)告首先向客戶分享了恒普對(duì)碳化鉭涂層的認(rèn)識(shí)，以及在長晶過程應(yīng)用碳化鉭涂層技術(shù)的經(jīng)驗(yàn)分享，并主要圍繞晶體質(zhì)量、晶體面型等方面的基礎(chǔ)研究，以及恒普目前在碳化鉭涂層制備技術(shù)上的研究進(jìn)展。

報(bào)告透露，恒普在氣氛控制、溫度控制有著十多年的經(jīng)驗(yàn)，在燒結(jié)爐上可以做到整爐均溫正負(fù)一度，長晶爐上，做到控壓正負(fù)0.5Pa。這也使恒普在CVD法制備碳化鉭涂層技術(shù)上有自己的獨(dú)到見解。同時(shí)，恒普已完成規(guī)模化驗(yàn)證，可以匹配客戶大規(guī)模使用碳化鉭的需求。

會(huì)議現(xiàn)場