用于半導體生產(chǎn)的主要設(shè)備供應(yīng)商，目前均為國際廠商，因此中國未來幾年巨額的半導體投資，實際上面臨著被設(shè)備卡脖子的危機。半導體檢測貫穿于產(chǎn)品生產(chǎn)制造流程始終，通過分析檢測數(shù)據(jù)確保產(chǎn)品工藝參數(shù)符合設(shè)計需求，并用以確定問題來源，及時采取修正措施，從而達到減少缺陷、提升產(chǎn)線良率的目的，良率的提升直接影響廠商的生產(chǎn)成本和訂單獲取能力。國際AOI廠商，沒有很強的缺陷分類能力，因此對于新投資的半導體廠商改善工藝和品質(zhì)的幫助不大。透過AOI收集的圖片，新產(chǎn)品的良率，產(chǎn)量甚至廠商的能力和瓶頸有機會被推算出來，這對半導體廠商是非常不利的。因此發(fā)展國產(chǎn)AOI檢測設(shè)備，是半導體投資能夠取得成功關(guān)鍵的一環(huán)。

 2023年5月5-7日，“2023碳化硅關(guān)鍵裝備、工藝及其他新型半導體技術(shù)發(fā)展論壇”在長沙召開。論壇在第三代半導體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟的指導下，由極智半導體產(chǎn)業(yè)網(wǎng)與中國電子科技集團第四十八研究所等單位聯(lián)合組織。論壇圍繞“碳化硅襯底、外延及器件相關(guān)裝備產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新發(fā)展”、“關(guān)鍵零部件及制造工藝創(chuàng)新突破”、“產(chǎn)業(yè)鏈上下游協(xié)同創(chuàng)新”、“氮化鎵與氧化鎵等其他新型半導體”，邀請產(chǎn)業(yè)鏈上下游的企業(yè)及高?？蒲性核砩钊胙杏?，攜手促進國內(nèi)碳化硅及其他半導體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。

期間，在“碳化硅關(guān)鍵裝備、工藝及配套材料技術(shù)”分論壇上，蘇州高視半導體技術(shù)有限公司副總經(jīng)理鄒偉金分享了“SIC晶圓全制程質(zhì)量控制解決方案”主題報告。

報告詳細介紹了，高視半導體推出的針對SIC制程晶圓質(zhì)量控制系統(tǒng)級解決方案（AOI-ADC-GOINFO），AOI能快速高靈敏的幫助制程發(fā)現(xiàn)缺陷，ADC根據(jù)AOI提供的缺陷進行精確分類，GOINFO根據(jù)分類結(jié)果及工藝數(shù)據(jù)，進行大數(shù)據(jù)分析，為SIC晶圓制程提供數(shù)據(jù)分析及工藝指導，從而提升產(chǎn)品良率。

鄒偉金，光學工程碩士。2017年加入高視科技（蘇州）股份有限公司，現(xiàn)任蘇州高視半導體技術(shù)有限公司副總經(jīng)理，主導半導體晶圓檢測系統(tǒng)的設(shè)計及研發(fā)工作。13年光學檢測系統(tǒng)從業(yè)經(jīng)驗，主導開發(fā)的檢測系統(tǒng)批量應(yīng)用在LCD、OLED、LED等泛半導體以及化合物半導體等領(lǐng)域，在工業(yè)光學檢測領(lǐng)域申請相關(guān)專利45項，授權(quán)30項。

論壇現(xiàn)場