據(jù)新泰廣電官微消息，5月21日，電子級(jí)硅烷項(xiàng)目簽約儀式在泰安市東岳山莊舉行。據(jù)了解，電子級(jí)硅烷項(xiàng)目位于新泰市樓德鎮(zhèn)，總投資15億元，規(guī)劃建設(shè)年產(chǎn)5000噸硅烷、50噸乙硅烷及1000噸二氯氫硅、10萬噸三氯氫硅的生產(chǎn)裝置及配套質(zhì)檢、公用工程、車間、倉庫、公司辦公樓等設(shè)備設(shè)施，建設(shè)氟硅高端材料項(xiàng)目及相關(guān)設(shè)施，項(xiàng)目全部建成達(dá)產(chǎn)后預(yù)計(jì)可實(shí)現(xiàn)年產(chǎn)值30億元。

電子級(jí)乙硅烷主要應(yīng)用于非晶硅生長(zhǎng)、外延生長(zhǎng)、化學(xué)氣相沉積、擴(kuò)散、離子注入等工藝中,廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體、集成電路、太陽能電池等領(lǐng)域。