科技日新月異，形勢一日千里?？萍紕?chuàng)新是大國競爭的核心領(lǐng)域。一個(gè)國家科技創(chuàng)新能力的高低，決定了其在國際競爭中的水平。

習(xí)近平總書記強(qiáng)調(diào)，要加快實(shí)施創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)發(fā)展戰(zhàn)略，努力突破關(guān)鍵核心技術(shù)難題，在重點(diǎn)領(lǐng)域、關(guān)鍵環(huán)節(jié)實(shí)現(xiàn)自主可控。山東搶抓第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展戰(zhàn)略機(jī)遇，促進(jìn)校企合作、產(chǎn)教融合，培育發(fā)展新興產(chǎn)業(yè)，打造國內(nèi)領(lǐng)先的第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)高地。

作為第三代半導(dǎo)體，碳化硅是芯片制造的基礎(chǔ)材料之一，在國防建設(shè)、航空航天、新能源汽車、5G通訊等領(lǐng)域都有廣闊應(yīng)用前景。之前，高成本一直是制約其大規(guī)模推廣的重要因素，想要降成本，途徑之一是擴(kuò)大晶圓面積，業(yè)界稱為“擴(kuò)徑”。新一代半導(dǎo)體材料集成攻關(guān)大平臺(tái)主任徐現(xiàn)剛說：“比如說我們面積8英寸的比6英寸的大1.8倍，那么它出的芯片的個(gè)數(shù)也就要大1.8倍還多，成本就降低了，有力地會(huì)推動(dòng)芯片的推廣。”國外早在上世紀(jì)50年代就開始研究碳化硅，而山東大學(xué)是國內(nèi)最早布局新一代半導(dǎo)體研發(fā)的單位之一。記者梳理了一張發(fā)展脈絡(luò)表，從攻破2英寸到6英寸碳化硅單晶生長、加工等關(guān)鍵核心技術(shù)，山大已歷時(shí)近20年。為打破國外技術(shù)封鎖和產(chǎn)品禁運(yùn)，2019年10月，山東大學(xué)新一代半導(dǎo)體材料集成攻關(guān)大平臺(tái)應(yīng)運(yùn)而生，這也是教育部首批支持建設(shè)的集成攻關(guān)大平臺(tái)之一。

那時(shí)，國內(nèi)8英寸碳化硅單晶自主可控的生長技術(shù)還處于空白，雖然只是從6英寸擴(kuò)徑兩英寸，但對(duì)工藝控制的要求極高，在2000多攝氏度的爐腔里實(shí)驗(yàn)，每一回開爐都像開盲盒。新一代半導(dǎo)體材料集成攻關(guān)大平臺(tái)主任徐現(xiàn)剛說：“莊稼都有種子才能長出來，我們長晶體也一樣，也必須有一個(gè)類似的種子的東西，我們叫籽晶，晶體就在籽晶上面順著它的結(jié)構(gòu)進(jìn)行一個(gè)延續(xù)。從6英寸擴(kuò)展到6.2、6.3，逐步到8英寸，基本上是按毫米來長，一小時(shí)不到1毫米，每一個(gè)過程都是一個(gè)逐步的迭代過程。”向8英寸發(fā)起攻關(guān)。大平臺(tái)立刻組建起材料、物理、化學(xué)、微電子、控制、信息等交叉學(xué)科的師生力量，優(yōu)勢互補(bǔ)；同時(shí)山大創(chuàng)新管理制度，賦予平臺(tái)人、財(cái)、事、物的高度自主權(quán)。

新一代半導(dǎo)體材料集成攻關(guān)大平臺(tái)副主任王煥楊說：“學(xué)校是把職稱評(píng)定的權(quán)力直接下放到平臺(tái)，打破過去唯論文這樣的一些五唯的現(xiàn)象，而更關(guān)注老師們代表性成果的實(shí)際的質(zhì)量和貢獻(xiàn)?，F(xiàn)在教育部和山東大學(xué)對(duì)平臺(tái)有一個(gè)穩(wěn)定的支持，支撐我們在一定時(shí)期內(nèi)能夠靜下心來，甘坐冷板凳去解決一些真的問題。”

“學(xué)術(shù)特區(qū)”讓科研高效開展。去年，大平臺(tái)提前實(shí)現(xiàn)擴(kuò)徑目標(biāo)，成功制備出高質(zhì)量8英寸碳化硅單晶襯底，是國內(nèi)大尺寸碳化硅生長與加工技術(shù)的又一標(biāo)志性突破。搶抓發(fā)展機(jī)遇，山東出臺(tái)第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展“十四五”規(guī)劃，支持濟(jì)南建成國內(nèi)領(lǐng)先的第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)基地，打造千億級(jí)產(chǎn)業(yè)集群，而濟(jì)南也加緊實(shí)施科技成果轉(zhuǎn)化倍增計(jì)劃，向山大伸出橄欖枝，共建“濟(jì)南晶谷”。

總部位于廣州的南砂晶圓公司，正計(jì)劃將擴(kuò)產(chǎn)基地落地濟(jì)南歷城區(qū)智能傳感器產(chǎn)業(yè)園，他們的全資子公司山東中晶芯源剛剛注冊完成。

南砂晶圓濟(jì)南擴(kuò)產(chǎn)基地負(fù)責(zé)人李樹強(qiáng)說：“我們這個(gè)技術(shù)團(tuán)隊(duì)主要核心力量還是山東大學(xué)的老師，溝通交流順暢度和效率就會(huì)大幅度提升。我們計(jì)劃的話在2025年滿產(chǎn)達(dá)產(chǎn)的時(shí)候能夠產(chǎn)值達(dá)到50億元以上。”

創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)發(fā)展。如今，通過半導(dǎo)體領(lǐng)域的技術(shù)轉(zhuǎn)讓和人才交流，山大已經(jīng)先后孵化出浪潮華光、山東天岳等一批高新技術(shù)企業(yè)，并與中物院、華為等深度合作，帶動(dòng)國產(chǎn)碳化硅產(chǎn)業(yè)快速前進(jìn)。

山東大學(xué)技術(shù)轉(zhuǎn)移中心主任兼科學(xué)技術(shù)研究院副院長劉德寶說：“2018年左右，我們學(xué)校的科技成果轉(zhuǎn)化的經(jīng)費(fèi)是百萬量級(jí)的，到去年2022年的時(shí)候已經(jīng)突破了2億元。在國家倡導(dǎo)新型舉國體制的背景下，開展有組織科研，真正地去做國家需要的事、做產(chǎn)業(yè)需要的事，為我們國家科技自立自強(qiáng)、建設(shè)科技強(qiáng)國貢獻(xiàn)一份力量。”

來源：山東廣播電視臺(tái)·閃電新聞