據(jù)悉，日前，華海清科集成電路高端裝備研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目奠基儀式在北京市亦莊項(xiàng)目現(xiàn)場(chǎng)舉行。

 

華海清科董事長(zhǎng)、首席科學(xué)家路新春表示，本項(xiàng)目由子公司華海清科（北京）科技有限公司負(fù)責(zé)，用于開展高端半導(dǎo)體設(shè)備研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化，將進(jìn)一步擴(kuò)大公司生產(chǎn)經(jīng)營(yíng)規(guī)模。

 

消息顯示，華海清科集成電路高端裝備研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目位于馬駒橋鎮(zhèn)智能制造基地，主要涉及化學(xué)機(jī)械拋光（CMP）設(shè)備、減薄機(jī)的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化。該項(xiàng)目達(dá)產(chǎn)后，將具備28納米以下先進(jìn)制程CMP設(shè)備研制能力，以及每月20萬(wàn)片12英寸再生晶圓代工能力。