據(jù)悉，中國電子科技集團(tuán)有限公司旗下中電科電子裝備集團(tuán)有限公司（以下簡稱“電科裝備”）已實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)離子注入機(jī)28納米工藝制程全覆蓋，有力保障我國集成電路制造行業(yè)在成熟制程領(lǐng)域的產(chǎn)業(yè)安全。

 

消息稱，電科裝備連續(xù)突破光路、控制、軟件等關(guān)鍵模塊的核心技術(shù)，形成中束流、大束流、高能及第三代半導(dǎo)體等全系列離子注入機(jī)產(chǎn)品格局，實(shí)現(xiàn)了28納米工藝制程全覆蓋，切實(shí)保障國產(chǎn)芯片生產(chǎn)制造。

 

資料顯示，電科裝備成立于2013年，是在中國電子科技集團(tuán)公司二所、四十五所、四十八所三個(gè)國家級(jí)研究所基礎(chǔ)上組建成立的二級(jí)成員單位，屬中國電子科技集團(tuán)有限公司獨(dú)資公司。

 

電科裝備是國內(nèi)最早從事離子注入設(shè)備研制及產(chǎn)業(yè)化的企業(yè)，形成了以離子注入機(jī)、平坦化裝備（CMP）等為代表的微電子工藝設(shè)備研究開發(fā)與生產(chǎn)制造體系，涵蓋材料加工、芯片制造、先進(jìn)封裝和測試檢測等多個(gè)領(lǐng)域；通過了ISO9001、 GJB9001C、UL、CE、TüV、NRE等質(zhì)量管理體系與國際認(rèn)證。據(jù)悉，該公司百臺(tái)設(shè)備廣泛應(yīng)用于國內(nèi)各大集成電路先進(jìn)產(chǎn)線，累計(jì)流片2000萬片，有力提升我國產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈韌性和安全水平。