溫度量測傳感器在半導體芯片制程中發(fā)揮著重要作用。它們被廣泛用于監(jiān)測和控制半導體芯片制造過程中的溫度，以確保制程的穩(wěn)定性、可靠性和性能。

2023年7月26-28日，“2023功率與光電半導體器件設計及集成應用論壇”將于西安召開。論壇由第三代半導體產業(yè)技術創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟（CASA）指導，西安交通大學、極智半導體產業(yè)網(wǎng)（m.jycsgw.cn）、第三代半導體產業(yè)主辦，西安電子科技大學、中國科學院半導體研究所、CASA人才發(fā)展委員會、全國半導體應用產教融合（東莞）職業(yè)教育集團聯(lián)合組織籌辦。

期間，“平行論壇2：光電子器件及應用”上，西安和其光電股份有限公司常務副總經(jīng)理康利軍做了題為“溫度量測傳感器在半導體芯片制程中的應用”的主題報告，分享了熒光光纖測溫技術、紅外光學測溫技術、光譜解調技術、Wafer測溫技術等技術進展。溫度量測傳感器幾乎貫穿半導體芯片制造所有關鍵工藝。

報告中還詳細分享了石墨純化和多晶硅還原爐紅外測溫、SIC晶體生長工藝和溫度、SIC外延爐測溫、氧化擴散爐紅外測溫、薄膜沉積設備紅外測溫、刻蝕工藝測溫、IC wafer 在光刻和離子注入工藝中的應用測溫等諸多產品和應用狀況及優(yōu)勢對比。并總結了溫度量測設備在SIC芯片制造工藝過程應用中要求的不同指標。

其中，對于SIC硅單晶生長爐紅外測溫應用，報告指出，采用比色紅外測溫通過小尺寸的窗口，精確測量坩堝、石墨管、隔熱材料的溫度實時溫度，整個的生長過程中對加熱的情況進行準確掌握，保證晶體生長質量，提高成品率和生長效率。PECVD設備（等離子體增強化學氣相沉積法），該設備涉及預熱室預熱、冷卻等溫度控制。因此需要溫度測量傳感器以實現(xiàn)可編程邏輯溫度控制。加熱過程中經(jīng)常出現(xiàn)的溫度波動影響加熱體的加熱均勻性或造成對被加熱體。溫度監(jiān)測的方法來提高產品的成品率，降低生產成本。各種測溫技術互補，目前和其光電可以提供半導體芯片制程中溫度量測的整體解決方案。

嘉賓簡介

康利軍 西安和其光電科技股份有限公司常務副總經(jīng)理，西安文理學院特聘教授，世界軌道交通研究會專家理事。畢業(yè)于中科院西安光機所，主要從事溫度量測傳感器的研究及產業(yè)化，承擔國家各類課題二十余項，曾獲陜西省科學院技術進步一等獎，發(fā)表論文10余篇，專利20余項。2011年聯(lián)合創(chuàng)辦西安和其光電，成功推動科技成果轉移轉化，解決了我國若干重要領域的關鍵溫度參數(shù)測量技術問題，提升了我國半導體、軌道交通、電力系統(tǒng)、石油化工等領域溫度在線監(jiān)測的整體技術水平。突破了量測傳感行業(yè)發(fā)展瓶頸，通過技術和應用創(chuàng)新，滿足各行業(yè)用戶需求，形成產業(yè)規(guī)模。系列量測傳感器產品已應用于國內32個省市和國外30多個國家。

關于和其光電

西安和其光電科技股份有限公司（Optsensor)成立于2011年，是由中國科學院西安光機所孵化的高科技公司，擁有中科院西安光機所50年技術積淀，是全球知名的光學量測傳感儀器品牌商之一，主要針對不同行業(yè)不同加工設備提供整套的溫度、壓力、氣體濃度等光學量測傳感儀器的研發(fā)、生產、銷售、應用與技術服務。確保設備的穩(wěn)定高效運行，提升設備設計制造質量和使用效率，為用戶帶來卓越的經(jīng)濟和安全價值。

系列傳感儀器應用已遍布國內各省市和歐洲非洲等地區(qū)，廣泛應用于半導體、電力、軌道交通、鋼鐵冶金、煤炭開采、石油化工、微波醫(yī)療、食品安全、科學研究和國防等領域。目前和其光電已經(jīng)成為國內外多家半導體設備頭部企業(yè)的供應商。紅外測溫儀可用于各種長晶、外延、刻蝕、沉積設備中；光纖測溫可用于靜電吸盤的溫度監(jiān)測；TC Wafer可用于各種晶圓溫場的測試中；IC Wafer可用于各類刻蝕、離子注入設備中。

雖然和其光電紅外測溫產品推出市場時間不久，但基于中科院西安光機所50多年的技術積累，產品一經(jīng)問世，重復測量最高就能達到0.15%測量值的超高精度，加上快捷便利的國內交付及服務，因此快速獲得國內業(yè)界的青睞和采用，藉此為國產替代貢獻力量、展現(xiàn)價值。