溫度量測傳感器在半導(dǎo)體芯片制程中發(fā)揮著重要作用。它們被廣泛用于監(jiān)測和控制半導(dǎo)體芯片制造過程中的溫度，以確保制程的穩(wěn)定性、可靠性和性能。

2023年7月26-28日，“2023功率與光電半導(dǎo)體器件設(shè)計及集成應(yīng)用論壇”將于西安召開。論壇由第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟（CASA）指導(dǎo)，西安交通大學(xué)、極智半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)網(wǎng)（m.jycsgw.cn）、第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)主辦，西安電子科技大學(xué)、中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所、CASA人才發(fā)展委員會、全國半導(dǎo)體應(yīng)用產(chǎn)教融合（東莞）職業(yè)教育集團聯(lián)合組織籌辦。

期間，“平行論壇2：光電子器件及應(yīng)用”上，西安和其光電股份有限公司常務(wù)副總經(jīng)理康利軍做了題為“溫度量測傳感器在半導(dǎo)體芯片制程中的應(yīng)用”的主題報告，分享了熒光光纖測溫技術(shù)、紅外光學(xué)測溫技術(shù)、光譜解調(diào)技術(shù)、Wafer測溫技術(shù)等技術(shù)進展。溫度量測傳感器幾乎貫穿半導(dǎo)體芯片制造所有關(guān)鍵工藝。

報告中還詳細(xì)分享了石墨純化和多晶硅還原爐紅外測溫、SIC晶體生長工藝和溫度、SIC外延爐測溫、氧化擴散爐紅外測溫、薄膜沉積設(shè)備紅外測溫、刻蝕工藝測溫、IC wafer 在光刻和離子注入工藝中的應(yīng)用測溫等諸多產(chǎn)品和應(yīng)用狀況及優(yōu)勢對比。并總結(jié)了溫度量測設(shè)備在SIC芯片制造工藝過程應(yīng)用中要求的不同指標(biāo)。

其中，對于SIC硅單晶生長爐紅外測溫應(yīng)用，報告指出，采用比色紅外測溫通過小尺寸的窗口，精確測量坩堝、石墨管、隔熱材料的溫度實時溫度，整個的生長過程中對加熱的情況進行準(zhǔn)確掌握，保證晶體生長質(zhì)量，提高成品率和生長效率。PECVD設(shè)備（等離子體增強化學(xué)氣相沉積法），該設(shè)備涉及預(yù)熱室預(yù)熱、冷卻等溫度控制。因此需要溫度測量傳感器以實現(xiàn)可編程邏輯溫度控制。加熱過程中經(jīng)常出現(xiàn)的溫度波動影響加熱體的加熱均勻性或造成對被加熱體。溫度監(jiān)測的方法來提高產(chǎn)品的成品率，降低生產(chǎn)成本。各種測溫技術(shù)互補，目前和其光電可以提供半導(dǎo)體芯片制程中溫度量測的整體解決方案。

嘉賓簡介

康利軍 西安和其光電科技股份有限公司常務(wù)副總經(jīng)理，西安文理學(xué)院特聘教授，世界軌道交通研究會專家理事。畢業(yè)于中科院西安光機所，主要從事溫度量測傳感器的研究及產(chǎn)業(yè)化，承擔(dān)國家各類課題二十余項，曾獲陜西省科學(xué)院技術(shù)進步一等獎，發(fā)表論文10余篇，專利20余項。2011年聯(lián)合創(chuàng)辦西安和其光電，成功推動科技成果轉(zhuǎn)移轉(zhuǎn)化，解決了我國若干重要領(lǐng)域的關(guān)鍵溫度參數(shù)測量技術(shù)問題，提升了我國半導(dǎo)體、軌道交通、電力系統(tǒng)、石油化工等領(lǐng)域溫度在線監(jiān)測的整體技術(shù)水平。突破了量測傳感行業(yè)發(fā)展瓶頸，通過技術(shù)和應(yīng)用創(chuàng)新，滿足各行業(yè)用戶需求，形成產(chǎn)業(yè)規(guī)模。系列量測傳感器產(chǎn)品已應(yīng)用于國內(nèi)32個省市和國外30多個國家。

關(guān)于和其光電

西安和其光電科技股份有限公司（Optsensor)成立于2011年，是由中國科學(xué)院西安光機所孵化的高科技公司，擁有中科院西安光機所50年技術(shù)積淀，是全球知名的光學(xué)量測傳感儀器品牌商之一，主要針對不同行業(yè)不同加工設(shè)備提供整套的溫度、壓力、氣體濃度等光學(xué)量測傳感儀器的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售、應(yīng)用與技術(shù)服務(wù)。確保設(shè)備的穩(wěn)定高效運行，提升設(shè)備設(shè)計制造質(zhì)量和使用效率，為用戶帶來卓越的經(jīng)濟和安全價值。

系列傳感儀器應(yīng)用已遍布國內(nèi)各省市和歐洲非洲等地區(qū)，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、電力、軌道交通、鋼鐵冶金、煤炭開采、石油化工、微波醫(yī)療、食品安全、科學(xué)研究和國防等領(lǐng)域。目前和其光電已經(jīng)成為國內(nèi)外多家半導(dǎo)體設(shè)備頭部企業(yè)的供應(yīng)商。紅外測溫儀可用于各種長晶、外延、刻蝕、沉積設(shè)備中；光纖測溫可用于靜電吸盤的溫度監(jiān)測；TC Wafer可用于各種晶圓溫場的測試中；IC Wafer可用于各類刻蝕、離子注入設(shè)備中。

雖然和其光電紅外測溫產(chǎn)品推出市場時間不久，但基于中科院西安光機所50多年的技術(shù)積累，產(chǎn)品一經(jīng)問世，重復(fù)測量最高就能達(dá)到0.15%測量值的超高精度，加上快捷便利的國內(nèi)交付及服務(wù)，因此快速獲得國內(nèi)業(yè)界的青睞和采用，藉此為國產(chǎn)替代貢獻(xiàn)力量、展現(xiàn)價值。