紫外光探測器(PDs)在軍事預(yù)警系統(tǒng)、火焰監(jiān)測、光通訊等領(lǐng)域具有重要應(yīng)用。hBN做紫外光探測器具有諸多優(yōu)勢,物理化學(xué)性能穩(wěn)定好,抗輻射能力強,能夠適應(yīng)各種惡劣的環(huán)境;熱穩(wěn)定強、熱導(dǎo)率高、熱膨脹系數(shù)低能夠避免器件因熱導(dǎo)致性能下降;禁帶寬度在5.7 eV以上,帶邊吸收系數(shù)高(7.5×105 cm-1);介電常數(shù)低,使器件具有更低的噪聲和快的響應(yīng)速度;擊穿場強高,使器件能在高壓下工作,保證載流子高的漂移速度,有益于響應(yīng)度和速度的提升等。目前制備hBN薄膜均需要高真空、高溫、特殊氣體且對襯底要求高,一定程度上限制了hBN-PDs的制備。
近日,“2023功率與光電半導(dǎo)體器件設(shè)計及集成應(yīng)用論壇”于西安召開。論壇由第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟(CASA)指導(dǎo),西安交通大學(xué)、極智半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)網(wǎng)(m.jycsgw.cn)、第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)主辦,西安電子科技大學(xué)、中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所、第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟人才發(fā)展委員會、全國半導(dǎo)體應(yīng)用產(chǎn)教融合(東莞)職業(yè)教育集團聯(lián)合組織、西安和其光電股份有限公司等單位協(xié)辦。
期間,“平行論壇2:光電子器件及應(yīng)用”上,西安交通大學(xué)張啟凡帶來了“基于大面積自組裝hBN薄膜的超低暗電流真空紫外光探測器”的主題報告,分享了最新研究進展。
六方氮化硼(hBN)是制備真空紫外探測器(VUV PDs)最有前途的候選材料之一。然而,大面積hBN的高效、低成本制備仍然面臨許多挑戰(zhàn)。研究提出了一種經(jīng)濟有效的方法,即快速、高效率地利用hBN納米片(BNNSs)薄膜制備高性能VUV PDs。根據(jù)hBN特有的層狀結(jié)構(gòu),通過超聲輔助法破壞hBN層與層之間弱的范德華力,從塊體hBN中剝離出少層的BNNSs。隨后在油水界面通過自組裝技術(shù)將剝離的BNNSs組裝成大面積有序的薄膜。
目前實驗上已經(jīng)能輕松實現(xiàn)2英寸薄膜的制備。在這種薄膜中,由于每個BNNS均存在表面態(tài),在每個相鄰的BNNSs的接觸界面存在一個結(jié)勢壘,這些結(jié)勢壘主導(dǎo)著薄膜的電阻率。薄膜中的電子的傳輸需要跨過結(jié)勢壘,從而導(dǎo)致大量的電子被結(jié)勢壘消耗,器件表現(xiàn)出超低的暗電流。光照產(chǎn)生的載流子能夠降低表面勢,使結(jié)勢壘高度降低,從而增強電流的強度。
CASICON 系列活動簡介
“先進半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)大會(CASICON)”由【極智半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)網(wǎng)】主辦,每年在全國巡回舉辦的行業(yè)綜合活動。活動聚焦先進半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展熱點,聚合產(chǎn)業(yè)相關(guān)各方訴求,通過“主題會議+項目路演+展覽”的形式,促進參與各方交流合作,積極推動產(chǎn)業(yè)發(fā)展。CASICON 系列活動將以助力第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)為己任,聯(lián)合實力資源,持續(xù)輸出高質(zhì)量的活動內(nèi)容,搭建更好的交流平臺,為產(chǎn)業(yè)發(fā)展貢獻應(yīng)盡的力量。
(備注:以上信息僅根據(jù)現(xiàn)場整理未經(jīng)嘉賓本人確認,僅供參考?。?/p>