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CASICON 2023深圳前瞻 |托托科技吳陽:第三代半導體裝備從器件制造到性能表征

日期:2023-09-28 閱讀:769
核心提示:2023化合物半導體器件與封裝技術論壇將于10月12-13日在深圳國際會展中心(寶安新館) 3號館封測劇院召開。屆時,托托科技(蘇州

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 2023化合物半導體器件與封裝技術論壇將于10月12-13日在深圳·國際會展中心(寶安新館)·  3號館·封測劇院召開。屆時,托托科技(蘇州)有限公司董事長吳陽博士將受邀出席論壇,并分享《第三代半導體裝備:從器件制造到性能表征》主題報告。

吳陽博士將現(xiàn)場帶來關于無掩模板光刻機、磁光克爾顯微鏡、光電流光譜成像系統(tǒng)、超高精度3D光刻、3D先進顯微鏡等產(chǎn)品新進展。

吳陽

吳陽博士,托托科技(蘇州)有限公司董事長。蘇州市姑蘇領軍人才,蘇州工業(yè)園區(qū)金雞湖科技領軍人才。碩士畢業(yè)于倫敦大學學院,博士畢業(yè)于新加坡國立大學,后從事博士后研究工作,期間擔任研發(fā)項目的獨立PI,推進高新技術產(chǎn)業(yè)化。研究領域包括:超快自旋電子學;二維材料的光學檢測;高性能太赫茲源及探測器;先進光學設備的研發(fā)及制造等。發(fā)表國際論文25+,影響因子累加>230,包括 Nature Nanotechnology, Nature Physics, Nature Communication, Advanced Materials, Physical Review Letters 等優(yōu)質期刊,另有專利數(shù)十項。蘇州博格科技在蘇州及新加坡設立研發(fā)中心,獲評高新技術企業(yè),打造了托托科技與愛默科技兩個品牌,專注于光學儀器設備的研發(fā),生產(chǎn),推廣與銷售。公司推出的無掩膜板光刻設備,光電、光磁、光譜測量表征設備,以及3D微納重構設備已經(jīng)陸續(xù)問世,力爭為行業(yè)提供極致性價比的光學加工及檢測方案。

部分產(chǎn)品搶先看:

【無掩模板光刻機】

設備亮點

·告別掩模板,光刻從未如此簡單!

·適配市面上主流光刻膠,更高效,更便捷

·從2D,到2.5D,再到3D,你的設計,都能變成精準的器件

·0.5 μm,0.6 μm,1.0 μm,1.5 μm 不同需求,不同選擇

·從科研到工業(yè),完整產(chǎn)品體系,總有一款適合您的應用

無掩模光刻機的2D圖樣展示

無掩模光刻機的2.5D圖樣展示

【磁光克爾顯微鏡】

設備亮點:

·磁疇顯微成像,可觀測0.5 μm 孤立磁泡

·可定制化,軟件底層兼容電輸運測試

·垂直磁場1.4 T @1 cm氣隙,面內(nèi)磁場0.7 T @1 cm 氣隙

·5 K - 450 K低溫系統(tǒng)控制

·智能采集及分析軟件

3.

磁場驅動磁疇翻轉,高精度磁疇成像和磁滯回線圖片

超短脈沖電流驅動磁疇翻轉

【光電流光譜成像系統(tǒng)】

產(chǎn)品介紹:

1、激光器模塊

配套的優(yōu)質光纖合束多波長激光器、高性價比的中紅外激光器;

2、特色高性能模組

高精度的運動臺體系、獨家的低溫臺體系;

3、超強設備核心

超寬光譜UV-VIS-NIR-MIR、超快時間分辨的測量能力、振鏡高速掃描能力;

4、超強兼容能力電輸運協(xié)同測量,兼容各類電學儀表

可兼容各類第三方光譜儀、可兼容磁場、低溫;

5、用戶友好軟件

引導式界面、良好的人機交互、智能化,多變量,Sequence的特色。

【超高精度3D光刻】

產(chǎn)品介紹:

織雀系列產(chǎn)品采用光刻級運動平臺、光刻級光學系統(tǒng)以及光刻級感光材料,將光刻的技術與3D增材制造緊密融合,將3D光刻的精度推向微米級別。

3D光刻的速度主要取決于單個切片光刻所需的速度與切片層數(shù)。采用高亮度LED光源,甚至是高亮度激光光源,結合高品質的光學系統(tǒng),單層切片光刻速度得以達到領先水平,同一臺設備,可實現(xiàn)1 μm, 2 μm, 5 μm, 10 μm, 20 μm 的多種加工精度。

3D光刻樣品展示

【3D先進顯微鏡】

產(chǎn)品介紹:

SICon共焦模式下的LED芯片,3D及平面數(shù)據(jù);

白光干涉模式下的WSe2 樣品,實測厚度22 nm;

托托科技(蘇州)有限公司是一家快速成長的技術驅動型企業(yè),是專注于光學顯微加工及光學顯微檢測的光學儀器設備制造廠商。公司已經(jīng)陸續(xù)獲評“金雞湖領軍人才"、“姑蘇科技領軍人才"、高新技術企業(yè)稱號,發(fā)展勢頭迅猛。

公司目前擁有無掩模板紫外光刻產(chǎn)品、磁學產(chǎn)品,光電流產(chǎn)品、太赫茲產(chǎn)品,超快光譜產(chǎn)品五個核心產(chǎn)品線,其中多數(shù)產(chǎn)品的核心指標達到世界一流水平,逐漸形成了集設計、研發(fā)、制造,銷售及客戶咨詢服務為一體的高科技企業(yè)。托托科技致力于給客戶提供從全方位的技術支持,同時根據(jù)客戶要求提供準確且可靠的光機電一體化集成設備。以高端技術和細致設計造就卓越品質,以耐心服務和企業(yè)擔當贏得良好口碑。

公司旗下產(chǎn)品的品牌名稱為TuoTuo,共有赫智科技(蘇州)有限公司、托托科技(蘇州)有限公司、TuoTuoTechnology(Singapore) Pte. Ltd.三家運營主體,其中赫智科技(蘇州)、托托科技(蘇州)是中國區(qū)業(yè)務的運營主體,TuoTuo Technology(Singapore)是國際業(yè)務的運營主體。

目前論壇詳細日程安排已經(jīng)出爐,欲知會議詳情詳見下文:

會議主題:共享機遇  直面 “挑戰(zhàn)

會議時間:20231012-13

會議地點:深圳·國際會展中心(寶安新館)·  3號館·封測劇院

主辦單位:

中國國際貿(mào)易促進委員會電子信息行業(yè)分會

勵展博覽集團

極智半導體產(chǎn)業(yè)網(wǎng)

第三代半導體產(chǎn)業(yè)

承辦單位:

北京麥肯橋新材料生產(chǎn)力促進中心有限公司

協(xié)辦單位:

江蘇博睿光電股份有限公司

ULVAC株式會社

托托科技(蘇州)有限公司

擬與會單位:

蘇州鍇威特、英諾賽科、基本半導體、泰科天潤、PI、長飛光纖、日月光、安靠、長電科技、瞻芯電子,華天、納維科技、蘇州晶湛、百識電子、三安集成、通富微、大族激光、紫光、力成科技、矽品、中微、上海微電子、陽光電源、北方華創(chuàng)、南京大學、復旦大學、中科院蘇州納米所、江蘇三代半研究院、東南大學、國星光電、京元電子、聯(lián)合科技、甬矽電子、無錫華潤安盛、頎邦、晶方半導體、紫光、環(huán)旭、蘇州固锝、ARM、Cadence、士蘭微、Mentor、Synopsys、Silicon Image、Ceva、eMemory、comsol、ansys、abaqus、Ansys 、富士康、華光光電、偉創(chuàng)力、捷普電子、和 碩、廣達上海、貝萊勝電子、恒諾微電子、華泰電子、環(huán)旭、TDG、中電科、杭州長川科技、ASM、海思、K&S、Disco、蘇州艾科瑞思、泰瑞達、科利登Xcerra、美國國家儀器NI、Chroma、北京華峰測控、精測電子、TRI、Hilevel、KingTiger、TEV、TELCO、是德科技、羅德施瓦茨、錸微半導體、利之達、老鷹半導體,米格實驗室,國星半導體,南方電網(wǎng),國家電網(wǎng),深圳大學,北大深圳研究院,南方科技大學、西安電子科技大學、華為和比亞迪等

會議日程(擬):

927日程長圖

 注冊參會:參會費1500,含會議午餐,茶歇(前50名報名參會者,免收注冊費!?。。?/strong>

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活動行10月深圳化合物半導體論壇

(前50名報名參會者,免收注冊費?。。。?/strong>

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