在碳化硅半導(dǎo)體技術(shù)與產(chǎn)業(yè)飛速發(fā)展的今天,憑借卓越的研發(fā)實(shí)力,粵海金半導(dǎo)體成功研制出8英寸導(dǎo)電型碳化硅單晶與襯底片。公司成立伊始即堅(jiān)持創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)、科技引領(lǐng)的經(jīng)營發(fā)展理念持續(xù)推動(dòng)技術(shù)研發(fā),在省、市、區(qū)各級(jí)政府及各相關(guān)部門的關(guān)注與大力支持下,攻克了大量工藝技術(shù)難關(guān),在自主研制的碳化硅單晶生長爐上成功制備出直徑超過205毫米的8英寸導(dǎo)電型碳化硅晶體,晶體表面光滑無缺陷,厚度超過20毫米,同時(shí)已經(jīng)順利加工出8英寸碳化硅襯底片。在8英寸碳化硅晶體研發(fā)過程中成功解決了大直徑晶體擴(kuò)徑生長、大尺寸熱場分布和高溫氣相輸運(yùn)、大尺寸晶體應(yīng)力控制等關(guān)鍵共性技術(shù)難題,形成并掌握了完整的工藝解決方案,獲得了質(zhì)量優(yōu)良的碳化硅單晶與襯底片,為后續(xù)持續(xù)提升質(zhì)量并進(jìn)行產(chǎn)業(yè)化批量生產(chǎn)打下了堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。
8英寸導(dǎo)電型碳化硅單晶與襯底片的研制成功,進(jìn)一步提升了公司在碳化硅半導(dǎo)體材料領(lǐng)域的競爭力,具備了緊跟國內(nèi)外行業(yè)快速發(fā)展的技術(shù)實(shí)力?;浐=鸢雽?dǎo)體以“讓先進(jìn)半導(dǎo)體產(chǎn)品走進(jìn)千家萬戶”為愿景,以“成就客戶”為使命核心,聚焦碳化硅半導(dǎo)體材料領(lǐng)域,將持續(xù)加大研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)投入,在技術(shù)創(chuàng)新的基礎(chǔ)上快速提升產(chǎn)品批量交付能力,為下游客戶提供品質(zhì)更優(yōu)、更具性價(jià)比的碳化硅襯底片產(chǎn)品。
(來源:第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)戰(zhàn)略聯(lián)盟)