據(jù)國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局公告,北京大學(xué)申請(qǐng)一項(xiàng)名為“一種長波長InGaN基發(fā)光二極管的外延結(jié)構(gòu)及其制備方法“,公開號(hào)CN117747725A,申請(qǐng)日期為2023年12月。
專利摘要顯示,本發(fā)明公開了一種長波長InGaN基發(fā)光二極管的外延結(jié)構(gòu)及其制備方法。本發(fā)明括襯底、非故意摻雜的氮化鎵層、n型摻雜的氮化鎵層、長溝槽型多量子阱、修復(fù)層、發(fā)光多量子阱和p型摻雜的氮化鎵層;溝槽型多量子阱表面具有環(huán)狀V型坑,為溝槽型多量子阱和修復(fù)層提供應(yīng)力弛豫,使得修復(fù)層的晶格得到擴(kuò)張,有利于提高發(fā)光多量子阱中的銦并入,并且作為空間隔離,避免環(huán)狀V型坑內(nèi)部的量子阱中的載流子受到外部缺陷的影響;修復(fù)層修復(fù)低溫生長的溝槽型多量子阱的粗糙表面,為后續(xù)生長的發(fā)光多量子阱提供平整的生長表面;修復(fù)層作為空穴阻擋層,阻擋來自p型摻雜的氮化鎵層的空穴進(jìn)入到溝槽型多量子阱中,使得空穴集中于發(fā)光多量子阱中用于輻射復(fù)合。