近日，一塔半導(dǎo)體（安徽）有限公司完成數(shù)千萬元Pre-A輪融資，投資方為合肥海恒科創(chuàng)產(chǎn)投基金及相關(guān)產(chǎn)業(yè)投資人，此輪融資資金主要用于MOCVD外延系統(tǒng)和RTP快速熱處理系統(tǒng)設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)制造和銷售。

據(jù)悉，一塔半導(dǎo)體（ETA-Semitech）致力于半導(dǎo)體制程設(shè)備研發(fā)，已成功研發(fā)外延系統(tǒng)（MOCVD）和退火系統(tǒng)（激光退火/RTP），公司擁有多項(xiàng)技術(shù)方案，包括自主創(chuàng)新SiC/GaN外延生長方案，快速熱處理（RTA）、熱氧化（RTO）、熱氮化（RTN）、離子注入退火、金屬合金、功率芯片背面激光退火等解決方案，持有多項(xiàng)專利和軟件著作權(quán)。

一塔半導(dǎo)體（ETA-Semitech）注冊(cè)于2024年2月，落地于合肥經(jīng)開區(qū)并即將投入試運(yùn)營。項(xiàng)目總投資3.5億。首期項(xiàng)目建設(shè)面積4000平方米，主要用于MOCVD外延系統(tǒng)和RTP快速熱處理系統(tǒng)的研發(fā)及生產(chǎn)，試運(yùn)營后將正式啟動(dòng)設(shè)備的裝配和調(diào)試工作。

目前，一塔半導(dǎo)體擁有兩大產(chǎn)研基地，分別位于合肥經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)和德清浙工大科技園（瑤光半導(dǎo)體（浙江）有限公司）。此輪融資完成后，將進(jìn)一步加快一塔半導(dǎo)體MOCVD、RTP等設(shè)備的開發(fā)進(jìn)程。