11月4日，睿勵(lì)科學(xué)儀器完成近5億元戰(zhàn)略融資，本輪融資由金石投資和招商致遠(yuǎn)聯(lián)合領(lǐng)投，資金將用于提升半導(dǎo)體制程用光學(xué)量檢測設(shè)備的國產(chǎn)替代能力，豐富產(chǎn)品種類，并加大市場開拓力度。 

睿勵(lì)科學(xué)儀器成立于2005年，專注于開發(fā)、生產(chǎn)和銷售具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)及核心技術(shù)的光學(xué)量檢測設(shè)備，服務(wù)集成電路芯片制造工藝。作為國內(nèi)首批半導(dǎo)體前道工藝國產(chǎn)設(shè)備公司，睿勵(lì)科學(xué)儀器也是國內(nèi)首家專注于量檢測領(lǐng)域的半導(dǎo)體設(shè)備公司。 

睿勵(lì)科學(xué)儀器的主要產(chǎn)品包括薄膜測量、尺寸光學(xué)檢測設(shè)備，以及硅片厚度和翹曲測量設(shè)備等，現(xiàn)已成功進(jìn)入三星和長江存儲(chǔ)的生產(chǎn)線，新研制的缺陷檢測設(shè)備也已在下游客戶中得到應(yīng)用。 

在缺陷檢測方面，睿勵(lì)科學(xué)儀器推出了FSD系列、WSD系列和BriteSD系列設(shè)備，其中WSD系列是首款應(yīng)用于半導(dǎo)體前道工藝并具備量產(chǎn)能力的國產(chǎn)缺陷檢測設(shè)備。目前，公司正在進(jìn)行LED、顯示面板及化合物半導(dǎo)體領(lǐng)域的客戶驗(yàn)證。 

據(jù)悉，WSD系列產(chǎn)品專為集成電路芯片及泛半導(dǎo)體工藝（如SiC、OLED、Micro LED等）設(shè)計(jì)，提供高精度光學(xué)晶圓外觀缺陷檢測，最高檢測精度可達(dá)100nm，兼容4~12英寸晶圓，支持明場和暗場檢測。 

值得一提的是，睿勵(lì)科學(xué)儀器與中微公司有著密切的合作關(guān)系。2023年，中微公司以5790.21萬元收購了睿勵(lì)科學(xué)儀器6.76%的股權(quán)，旨在促進(jìn)產(chǎn)業(yè)鏈延伸并培育新的業(yè)務(wù)增長點(diǎn)。中微公司主要從事高端半導(dǎo)體設(shè)備及泛半導(dǎo)體設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，業(yè)務(wù)涵蓋半導(dǎo)體集成電路制造、先進(jìn)封裝、LED外延片生產(chǎn)、功率器件、MEMS制造等領(lǐng)域。 

（來源：LEDinside）