7月11日，凝聚“芯”動能，共筑“芯”高地——廣東中科半導體微納制造技術研究院（以下簡稱“廣東微納院”）半導體微納加工中試平臺通線暨項目簽約儀式在佛山南海舉行。會上，廣東微納院半導體微納加工中試平臺通線，微納院二期項目正式封頂，一批半導體項目現(xiàn)場簽約，為南海半導體產(chǎn)業(yè)發(fā)展注入“芯”動能。

活動當天，廣東微納院與華南師范大學工學部還舉行了合作簽約儀式，與一批南海企業(yè)達成產(chǎn)學研合作，多方將開展多層次、多形式的合作，促進科教融合人才培養(yǎng)、成果轉化、創(chuàng)新示范深度融合。廣東省科技廳二級巡視員夏奇峰、佛山市副市長陳新文、南海區(qū)區(qū)長王勇及南海區(qū)相關部門、區(qū)內(nèi)高校、科研院所、半導體產(chǎn)業(yè)上下游企業(yè)代表超180人參會。

中試平臺通線，一批項目簽約

南海半導體產(chǎn)業(yè)注入“芯”動能

廣東微納院是由佛山市、南海區(qū)兩級政府共同建設，中國科學院蘇州納米所支持的廣東省省屬事業(yè)單位，聚焦芯片制造環(huán)節(jié)，搭建先進半導體工藝研發(fā)體系，形成半導體材料外延生長、芯片加工、封裝測試等全鏈條中試服務模式，為佛山市半導體產(chǎn)業(yè)強鏈延鏈、大灣區(qū)“芯”動能高質(zhì)量發(fā)展提供技術平臺支撐。會上，廣東微納院副院長王暉介紹中試平臺規(guī)劃與建設情況。據(jù)介紹，平臺建成后，將具備8吋硅晶圓和氮化鎵晶圓加工能力。

廣東微納院副院長王暉介紹中試平臺規(guī)劃與建設情況。“希望廣東微納院繼續(xù)加強科研攻關和中試平臺工藝能力建設，努力實現(xiàn)引領性原創(chuàng)性技術突破，加快重大科技成果高效轉化和迭代應用，探索建立科技創(chuàng)新和產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新互促互強的半導體向‘新’生態(tài)。”中國科學院蘇州納米所黨委書記鄧強表示。

自研究院成立以來，已為百余家科研院所、高校和企業(yè)提供技術服務和人才輸出，獲得了業(yè)界的廣泛認可，成為廣東半導體產(chǎn)業(yè)的重要支撐平臺之一。廣東省科技廳二級巡視員夏奇峰表示，中試平臺是連接實驗室與產(chǎn)業(yè)界的橋梁，希望廣東微納院繼續(xù)發(fā)揚創(chuàng)新引領精神，不斷提升產(chǎn)業(yè)輻射策源能力，為廣東省和大灣區(qū)半導體產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展蓄勢賦能。

活動現(xiàn)場，蘇州敏芯微電子技術股份有限公司、科大訊飛股份有限公司、中國科學院長春光學精密機械與物理研究所等12家企業(yè)、科研院所與廣東微納院簽訂中試合作協(xié)議。未來，廣東微納院“半導體材料外延與表征”、“半導體微納加工”兩大中試平臺將分別為合作企業(yè)提供提供外延定制、表征測試及全流程中試流片、技術咨詢等多種中試服務。

“廣東微納院是一個出色的科創(chuàng)平臺。其憑借著卓越的科研實力、先進的實驗設施以及專業(yè)的科研人才隊伍，為科技創(chuàng)新和產(chǎn)業(yè)發(fā)展提供了強大的支撐和動力。在此前，企業(yè)已經(jīng)與廣東微納院在許多領域達成了合作意向。”廣州市鴻利秉一光電科技有限公司簽約入駐半導體材料外延與表征中試平臺，研發(fā)總監(jiān)任榮斌表示，在當前半導體激光芯片等領域的發(fā)展進程中，企業(yè)不可避免地遭遇了一定的技術瓶頸，依托研究院的中試平臺所提供的芯片定制、科研攻關等一系列專業(yè)服務，能為企業(yè)突破技術瓶頸、實現(xiàn)技術及產(chǎn)業(yè)化的實質(zhì)性進展提供強大助力。

產(chǎn)業(yè)園建設提速

打造半導體產(chǎn)業(yè)集聚強磁場

依托半導體中試平臺，廣東微納院于2023年啟動二期建設。二期定位為產(chǎn)業(yè)孵化區(qū)，建設6萬平方米專業(yè)化半導體產(chǎn)業(yè)載體，其中潔凈廠房3.4萬平方米，預計2025年一季度進入試運行階段，將打造成為華南地區(qū)潔凈面積最大、產(chǎn)業(yè)鏈覆蓋最全的專業(yè)化技術驅動型主題園區(qū)?；顒优e行了簡單而隆重的二期產(chǎn)業(yè)孵化區(qū)封頂儀式，6家企業(yè)與廣東微納院簽訂了意向落戶協(xié)議。

“當前廣東微納院已構建了‘一核五園多要素’平臺格局，除了中試平臺通線及二期項目封頂外，研究院將推進三期項目規(guī)劃，持續(xù)配備更多半導體產(chǎn)業(yè)相關設備，引進培育一批半導體上下游產(chǎn)業(yè)企業(yè)，打造成半導體全鏈條產(chǎn)業(yè)服務平臺。”王暉表示，在地方政府的支持規(guī)劃下，圍繞廣東微納院的臨近地塊都可以為企業(yè)落地提供支持，將有望打造形成全廣東省乃至華南地區(qū)最適合發(fā)展半導體產(chǎn)業(yè)的集聚區(qū)域。未來，廣東微納院將不斷擴展產(chǎn)業(yè)版圖，打造成為具有全國影響力的集產(chǎn)業(yè)孵化、人才培養(yǎng)、芯片制造等要素的科創(chuàng)平臺。

“廣東微納院是佛山重點支持建設的半導體科創(chuàng)平臺，對推動產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新、構建產(chǎn)業(yè)生態(tài)、集聚產(chǎn)業(yè)發(fā)展起到示范引領作用，佛山將著力支持廣東微納院成為全國5個之一、全省20個之一的具有國際影響力的中試平臺。”佛山市副市長陳新文表示，希望研究院繼續(xù)發(fā)揮引領龍頭作用，深化半導體中試平臺加產(chǎn)業(yè)孵化運營和創(chuàng)新運營模式，為企業(yè)解決技術瓶頸和難題，推動佛山半導體產(chǎn)業(yè)向更高層次、更廣領域發(fā)展。佛山將繼續(xù)支持半導體產(chǎn)業(yè)發(fā)展，加大政策扶持力度，加強產(chǎn)業(yè)配套和基礎設施建設，積極構建“益曬你”服務體系，持續(xù)打造一流的營商環(huán)境，為科學家、企業(yè)家提供更加貼心、便捷高效的服務保障，共同攜手探索半導體領域的無限可能與無限機遇。