天眼查顯示，杭州士蘭微電子股份有限公司近日取得一項(xiàng)名為“MEMS微鏡及其制備方法”的專利，授權(quán)公告號(hào)為CN115268060B，授權(quán)公告日為2024年8月16日，申請(qǐng)日為2022年7月27日。

本發(fā)明提供了一種MEMS微鏡及其制備方法，在內(nèi)框架的頂面和底面分別設(shè)置第一線圈和第二線圈，所述第一線圈和所述第二線圈用于施加同向的電流，使得所述第一線圈和所述第二線圈產(chǎn)生的洛倫茲力可以疊加，增強(qiáng)驅(qū)動(dòng)力。本發(fā)明通過將所述第一線圈和所述第二線圈布置在所述內(nèi)框架的頂面和底面上，在施加同樣的電流時(shí)，與將所述第一線圈和所述第二線圈布置在同一個(gè)表面上相比，線圈發(fā)熱量更少，且在器件尺寸一定時(shí)，所述第一線圈和所述第二線圈的長(zhǎng)度可以增加，從而進(jìn)一步提高驅(qū)動(dòng)力的大小以獲得更大的偏轉(zhuǎn)角度，且本發(fā)明無需增大所述第一線圈和所述第二線圈中通入的電流，可以避免由于線圈發(fā)熱導(dǎo)致功耗增加或可靠性問題。