近日，國內(nèi)第三代半導體領軍企業(yè)——天科合達摘得北方芯谷新建區(qū)第一塊工業(yè)用地，將投資5.2億元建設半導體設備產(chǎn)業(yè)化基地項目，標志著北方芯谷新建區(qū)建設全面啟動。

遼寧省集成電路裝備及零部件產(chǎn)業(yè)園即北方芯谷，位于沈陽市渾南區(qū)，總占地面積5.1平方公里，包括建成區(qū)五三片區(qū)和新建區(qū)張沙布片區(qū)，規(guī)劃建設集整機裝備、零部件、系統(tǒng)集成等于一體的產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)。天科合達是國內(nèi)最早從事第三代半導體碳化硅晶片研制的國家級高新技術企業(yè)之一。這次摘牌的地塊位于北方芯谷新建區(qū)，計劃建設第三代半導體碳化硅單晶生長爐、高溫CVD真空爐等裝備研發(fā)制造生產(chǎn)基地和半導體設備高溫零部件碳化物涂層等終端產(chǎn)品生產(chǎn)基地。項目預計明年初開工建設，年底前投入使用。

北京天科合達半導體股份有限公司副總經(jīng)理 趙科新——省里包括市里都出臺了很多支持半導體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的政策和文件，我們天科集團看到了沈陽市發(fā)展半導體產(chǎn)業(yè)的決心，尤其我們渾南區(qū)大家都知道有很好的一個產(chǎn)業(yè)基礎，有很好的一個環(huán)境，集團也下定決心把這個業(yè)務留在沈陽，而且擴大規(guī)模進行投資。

沈陽高新區(qū)管委會副主任 張貴勇——以天科合達能夠落戶到新片區(qū)正式摘地為標志，我們新片區(qū)未來有兩平方公里的產(chǎn)業(yè)用地可以釋放出來，保證北方芯谷下一步的產(chǎn)業(yè)集聚所需要的空間需要。渾南區(qū)擁有良好的集成電路裝備產(chǎn)業(yè)基礎，集聚了多家引領性IC裝備企業(yè)，產(chǎn)品覆蓋薄膜、前道涂膠顯影、單式濕法清洗、分子束外延、干式真空泵、真空機械手、腔體等多個領域，多項技術填補國內(nèi)空白。年初以來，渾南區(qū)進一步加大集成電路產(chǎn)業(yè)招商力度，聚焦延鏈、補鏈、強鏈/儲備重點項目14個，總投資35.64億元，預計達產(chǎn)后可新增產(chǎn)值51億元。下一步，渾南區(qū)將加快完善園區(qū)基礎設施和相關配套，促進意向投資項目早日簽約落地、投產(chǎn)達效，推動集成電路裝備產(chǎn)業(yè)鏈不斷向上下游延伸。

張貴勇——根據(jù)企業(yè)的共性需求，我們正在積極地謀劃和推動，在北方芯谷新片區(qū)里，規(guī)劃建設一個開放型的、服務于產(chǎn)業(yè)發(fā)展所需的產(chǎn)業(yè)大學，來為入駐企業(yè)提供人才保障，同時也能為企業(yè)的員工提供一個更加時尚的生活環(huán)境。