9月19日，華海清科發(fā)布公告稱，自公司2023年推出新一代12英寸超精密晶圓減薄機(jī)Versatile-GP300量產(chǎn)機(jī)臺(tái)以來，公司積極推進(jìn)客戶端導(dǎo)入工作，該機(jī)型已發(fā)往存儲(chǔ)、先進(jìn)封裝、CIS等不同工藝的客戶端進(jìn)行驗(yàn)證。近日，公司 12 英寸超精密晶圓減薄機(jī) Versatile-GP300 完成首臺(tái)驗(yàn)證工作。

Versatile-GP300機(jī)臺(tái)通過創(chuàng)新布局，集成超精密磨削、拋光及清洗單元，配置先進(jìn)的厚度偏差與表面缺陷控制技術(shù)，提供多種系統(tǒng)功能擴(kuò)展選項(xiàng)，具有高精度、高剛性、工藝開發(fā)靈活等優(yōu)點(diǎn)，可以滿足集成電路、先進(jìn)封裝等制造工藝 的晶圓減薄需求。

華海清科指出，該驗(yàn)收機(jī)臺(tái)應(yīng)用于客戶先進(jìn)工藝，突破了傳統(tǒng)減薄機(jī)的精度限制，實(shí)現(xiàn)了減薄工藝全過程的穩(wěn)定可控，核心技術(shù)指標(biāo)達(dá)到了國(guó)內(nèi)領(lǐng)先和國(guó)際先進(jìn)水平，在客 戶端表現(xiàn)優(yōu)異，獲得客戶高度認(rèn)可。

其進(jìn)一步表示，Versatile-GP300 首臺(tái)驗(yàn)收通過標(biāo)志著其性能獲得客戶認(rèn)可，滿足客戶批量化生產(chǎn)需求，有助于推進(jìn)該機(jī)型在不同客戶不同工藝的生產(chǎn)線進(jìn)一步驗(yàn)證，完善技術(shù)指標(biāo)，為后續(xù)取得批量訂單打下堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)；同時(shí)隨著HBM等先進(jìn)封裝技術(shù)的應(yīng)用，將大幅提升市場(chǎng)對(duì)減薄裝備的需求，將有助于鞏固和提升公司的核心競(jìng)爭(zhēng)力，對(duì)公司未來的發(fā)展將產(chǎn)生積極的影響。