9月20日上午，寧波潤(rùn)平電子材料有限公司控股企業(yè)——寧波平恒電子材料有限公司的半導(dǎo)體芯片制造用CMP拋光液項(xiàng)目正式投產(chǎn)。

據(jù)悉，該項(xiàng)目主要生產(chǎn)氧化鈰拋光液、金屬鎢拋光液、氧化物拋光液、多晶硅拋光液四大類產(chǎn)品，其中的多晶硅拋光液，從拋光顆粒到最終產(chǎn)品，實(shí)現(xiàn)了全鏈路100%國(guó)產(chǎn)化，對(duì)保障中國(guó)半導(dǎo)體材料產(chǎn)業(yè)鏈的安全和穩(wěn)定具有重大意義。

“我們常說(shuō)的5納米、3納米芯片，背后其實(shí)就離不開(kāi)拋光液。”寧波潤(rùn)平電子材料有限公司董事長(zhǎng)惠宏業(yè)指著實(shí)驗(yàn)室內(nèi)龐大的生產(chǎn)設(shè)備，自豪地說(shuō)道。

在半導(dǎo)體芯片的制造過(guò)程中，半導(dǎo)體硅片（以下簡(jiǎn)稱晶圓）會(huì)歷經(jīng)刻蝕、離子注入等多重工藝步驟。經(jīng)這些工藝處理后，晶圓表面會(huì)變得凹凸不平，并產(chǎn)生多余的表面物。為了實(shí)現(xiàn)晶圓表面的平坦化，就需要借助專用設(shè)備對(duì)晶圓進(jìn)行多次拋光處理。這一過(guò)程被業(yè)界稱為CMP，即化學(xué)機(jī)械拋光。在此過(guò)程中，拋光液作為不可或缺的重要材料，對(duì)提升最終芯片的性能起著至關(guān)重要的作用。“我們的產(chǎn)品采用了先進(jìn)的納米顆粒技術(shù)，具備高純度、高穩(wěn)定性等特點(diǎn)，各項(xiàng)拋光性能全面對(duì)標(biāo)國(guó)際主流產(chǎn)品。”惠宏業(yè)提到。

據(jù)了解，CMP拋光液在國(guó)際市場(chǎng)上長(zhǎng)期被美國(guó)和日本的相關(guān)企業(yè)所壟斷，特別是在2008年以前，我國(guó)約90%的拋光液都依賴于進(jìn)口。“對(duì)采購(gòu)商來(lái)說(shuō)，國(guó)產(chǎn)CMP拋光液不僅有更明顯的價(jià)格優(yōu)勢(shì)，還意味著更安全的供應(yīng)條件，能夠?qū)崿F(xiàn)長(zhǎng)期穩(wěn)定的供應(yīng)。

”惠宏業(yè)說(shuō)。經(jīng)過(guò)多家客戶技術(shù)驗(yàn)證，潤(rùn)平電子已于今年7月獲得了首張量產(chǎn)訂單。“預(yù)計(jì)該項(xiàng)目今年產(chǎn)值能達(dá)3000萬(wàn)，接下去在滿產(chǎn)的情況下，全年能實(shí)現(xiàn)3億的產(chǎn)值。”惠宏業(yè)對(duì)未來(lái)充滿信心，“我們始終把創(chuàng)新作為企業(yè)發(fā)展的‘終極動(dòng)力’，CMP拋光液項(xiàng)目只是一個(gè)新的起點(diǎn)。”

作為寧波陽(yáng)明工業(yè)技術(shù)研究院培育的企業(yè)，該公司先后獲評(píng)國(guó)家科技型中小企業(yè)、浙江省科技型中小企業(yè)等稱號(hào)，拋光液項(xiàng)目成功入選寧波市“2022年甬江人才計(jì)劃”和余姚市“2021年姚江英才計(jì)劃”。目前，該公司研發(fā)團(tuán)隊(duì)已吸納多位CMP拋光材料領(lǐng)域的國(guó)內(nèi)外專家，累計(jì)申請(qǐng)專利105項(xiàng)，已授權(quán)32項(xiàng)，其中發(fā)明專利6項(xiàng)、實(shí)用新型專利26項(xiàng)，擁有核心自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)。