10月18日,“蕪湖市生態(tài)環(huán)境局”公示了關(guān)于蕪湖予秦半導(dǎo)體科技有限公司晶體材料研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化項目環(huán)境影響報告書。
報告書顯示,該項目總投資1.1億元,選址位于蕪湖高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū),項目占地面積約3000平方米,租賃蕪湖太平洋塑膠有限公司廠房建筑面積2428.6平方米,建設(shè)SiC半導(dǎo)體晶體材料生產(chǎn)線,項目共投入30臺長晶設(shè)備,產(chǎn)能為840個晶錠/年。
據(jù)悉,該項目早于2022年8月8日在蕪湖市弋江區(qū)發(fā)展和改革委員會進行首次備案,原規(guī)劃建設(shè)碳化硅長晶爐總部及生產(chǎn)基地項目,組裝生產(chǎn)碳化硅長晶設(shè)備(環(huán)評豁免);后于2024年4月1日變更備案并通過,建設(shè)晶體材料研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化項目,并且于同年6月對備案中項目占地面積、租賃廠房建筑面積、建設(shè)周期等建設(shè)內(nèi)容進行更正并通過備案。
公開資料顯示,予秦半導(dǎo)體成立于2022年,是一家主要從事第三代半導(dǎo)體材料-碳化硅襯底研發(fā)、生產(chǎn)和銷售的公司,其團隊研發(fā)的碳化硅長晶爐掌握了粉料提純關(guān)鍵技術(shù),能夠在達到高極限真空、低背景漏率的基礎(chǔ)上,實現(xiàn)溫場、流量、真空度等參數(shù)可視化實時監(jiān)控,同時兼具豐富的生產(chǎn)工藝優(yōu)化經(jīng)驗,有效提高碳化硅生長速度。