PVT單晶生長(zhǎng)設(shè)備、HVPE單晶生長(zhǎng)設(shè)備、碳化硅高溫氧化設(shè)備……11年，11款產(chǎn)品。經(jīng)過(guò)10多年的發(fā)展，山東力冠微電子裝備有限公司已成為一家集研發(fā)、生產(chǎn)、銷售為一體的半導(dǎo)體材料工藝裝備制造商。

“我們靠技術(shù)贏得市場(chǎng)，目前產(chǎn)品遠(yuǎn)銷東南亞、歐美。計(jì)劃三年之內(nèi)，我們公司的銷售總額能突破10億元。”山東力冠微電子董事長(zhǎng)孫軍偉介紹。

從公司設(shè)立之初的幾個(gè)人到如今近200人，企業(yè)快速成長(zhǎng)的秘訣在科技創(chuàng)新。“這些年來(lái)我們的研發(fā)投入占銷售收入比重始終保持在30％—50％之間，目前我們的研發(fā)隊(duì)伍50多人。”孫軍偉說(shuō)。

山東力冠微電子常年與國(guó)內(nèi)知名半導(dǎo)體企業(yè)、科研院校等保持密切合作，企業(yè)產(chǎn)品涵蓋第一代至第四代半導(dǎo)體材料工藝裝備，擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，廣泛應(yīng)用于集成電路、功率半導(dǎo)體、化合物半導(dǎo)體、5G芯片、光通信、MEMS等新型電子器件制造領(lǐng)域。

“目前我們有5款硅基半導(dǎo)體設(shè)備，6款化合晶體設(shè)備。其中，我們的化合晶體設(shè)備的技術(shù)水平位居全國(guó)前列。我們的夢(mèng)想就是為半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)做出國(guó)產(chǎn)可替代產(chǎn)品。”孫軍偉說(shuō)。

山東力冠微電子是濟(jì)南寬禁帶半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)園內(nèi)的企業(yè)之一。產(chǎn)業(yè)園致力于建設(shè)國(guó)際領(lǐng)先的寬禁帶半導(dǎo)體研發(fā)總部，標(biāo)準(zhǔn)化廠房及廠前區(qū)配套服務(wù)用房，圍繞碳化硅、氮化鎵等第三代半導(dǎo)體核心材料，重點(diǎn)建設(shè)寬禁帶半導(dǎo)體研發(fā)基地和產(chǎn)業(yè)聚集區(qū)。截至目前，已入駐山東力冠微電子、山東古天電子、濟(jì)南華研國(guó)芯微電子等近20家半導(dǎo)體企業(yè)。

濟(jì)南寬禁帶半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)園所處的槐蔭經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)，半導(dǎo)體及其應(yīng)用產(chǎn)業(yè)已經(jīng)成長(zhǎng)為四大優(yōu)勢(shì)產(chǎn)業(yè)之一。“我們聚焦半導(dǎo)體材料及其外延、封測(cè)、應(yīng)用器件等主攻方向和新能源汽車、光伏能源、軌道交通、智能控制器件、通訊射頻器件等重點(diǎn)領(lǐng)域，加大支持力度、完善政策措施，吸引高端資源和創(chuàng)新要素流入，將半導(dǎo)體及其應(yīng)用產(chǎn)業(yè)打造成開(kāi)發(fā)區(qū)的‘一號(hào)產(chǎn)業(yè)’。充分發(fā)揮山東天岳的龍頭輻射帶動(dòng)作用，育優(yōu)育強(qiáng)山東力冠微電子、元山電子、古天電子、紐特動(dòng)力、華研國(guó)芯等骨干企業(yè)，著力構(gòu)建上下游貫通、產(chǎn)研用一體、大中小企業(yè)協(xié)同的新發(fā)展格局。”槐蔭經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)經(jīng)濟(jì)發(fā)展局局長(zhǎng)趙寧說(shuō)。

（來(lái)源：大眾日?qǐng)?bào)）