天眼查顯示，北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司“工藝配方的管理控制方法、裝置及半導體設備”專利公布，申請公布日為2024年10月1日，申請公布號為CN118732614A。
本發(fā)明提供了工藝配方的管理控制方法、裝置及半導體設備；其中，該方法包括：FA端設備獲取工廠端主機發(fā)送的管理消息，并對管理消息進行解析，得到操作信息和標識信息；FA端設備通過Message Services將操作信息經(jīng)上位機轉發(fā)至下位機，以使下位機根據(jù)操作信息對Recipe進行操作處理；FA端設備獲取第一操作結果信息，并將第一操作結果信息發(fā)送至工廠端主機，從而通過在FA端設備中新增E42標準的消息服務Message Services，實現(xiàn)了工廠端按照SEMI E42標準的方式來管理Recipe，提高了工廠自動化程度。
