天眼查顯示，北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司“工藝配方的管理控制方法、裝置及半導(dǎo)體設(shè)備”專(zhuān)利公布，申請(qǐng)公布日為2024年10月1日，申請(qǐng)公布號(hào)為CN118732614A。

本發(fā)明提供了工藝配方的管理控制方法、裝置及半導(dǎo)體設(shè)備；其中，該方法包括：FA端設(shè)備獲取工廠端主機(jī)發(fā)送的管理消息，并對(duì)管理消息進(jìn)行解析，得到操作信息和標(biāo)識(shí)信息；FA端設(shè)備通過(guò)Message Services將操作信息經(jīng)上位機(jī)轉(zhuǎn)發(fā)至下位機(jī)，以使下位機(jī)根據(jù)操作信息對(duì)Recipe進(jìn)行操作處理；FA端設(shè)備獲取第一操作結(jié)果信息，并將第一操作結(jié)果信息發(fā)送至工廠端主機(jī)，從而通過(guò)在FA端設(shè)備中新增E42標(biāo)準(zhǔn)的消息服務(wù)Message Services，實(shí)現(xiàn)了工廠端按照SEMI E42標(biāo)準(zhǔn)的方式來(lái)管理Recipe，提高了工廠自動(dòng)化程度。