天眼查顯示，上海芯導(dǎo)電子科技股份有限公司“一種靜電防護(hù)結(jié)構(gòu)及制備方法、半導(dǎo)體器件及制備方法”專利公布，申請(qǐng)公布日為2024年10月11日，申請(qǐng)公布號(hào)為CN118763074A。

本發(fā)明的技術(shù)方案提供了一種靜電防護(hù)結(jié)構(gòu)及制備方法、半導(dǎo)體器件及制備方法，通過在所述第一區(qū)域內(nèi)設(shè)置依次排布的所述第一P型摻雜區(qū)和所述第一N型摻雜區(qū)，以構(gòu)成二極管；通過在所述第二區(qū)域內(nèi)設(shè)置依次排布的所述第二P型摻雜區(qū)、所述第四N型摻雜區(qū)、所述第二N型摻雜區(qū)、所述第五N型摻雜區(qū)和所述第三P型摻雜區(qū)，以構(gòu)成SCR器件；通過在所述第三區(qū)域內(nèi)設(shè)置依次排布的所述第三N型摻雜區(qū)和所述第四P型摻雜區(qū)，以構(gòu)成二極管?；谏鲜黾夹g(shù)手段，使靜電防護(hù)結(jié)構(gòu)集成了二極管和SCR結(jié)構(gòu)，從而降低靜電防護(hù)結(jié)構(gòu)在大電流下的鉗位電壓。同時(shí)，因?yàn)榧傻亩O管和SCR結(jié)構(gòu)形成對(duì)稱結(jié)構(gòu)，所以可以忽視所述第一電極和所述第二電極的正反接。