國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局信息顯示,成都氮矽科技有限公司申請(qǐng)一項(xiàng)名為“一種 N 面增強(qiáng)型 GaN 雙向功率器件及其制備方法”的專利,公開號(hào) CN 119133228 A,申請(qǐng)日期為 2024 年 9 月。
專利摘要顯示,本申請(qǐng)?zhí)峁┮环N N 面增強(qiáng)型 GaN 雙向功率器件及其制備方法,包括襯底、AlN 成核層、緩沖層、C 摻雜 AlGaN 層、AlGaN 勢(shì)壘層、GaN 溝道層以及鈍化層,柵極金屬位于柵極區(qū)域并與 GaN 溝道層連接,第一漏極與第二漏極設(shè)置于柵極區(qū)域的兩側(cè),第一漏極包括第一肖特基接觸金屬和與其連接的第一歐姆接觸金屬,第二漏極包括第二肖特基接觸金屬和與其連接的第二歐姆接觸金屬;第一肖特基接觸金屬與 AlGaN 勢(shì)壘層連接形成第肖特基接觸第歐姆接觸金屬與 GaN 溝道層連接形成第一歐姆接觸,第二肖特基接觸金屬與 AlGaN 勢(shì)壘層連接形成第二肖特基接觸,第二歐姆接觸金屬與 GaN 溝道層連接形成第二歐姆接觸,以提高器件的抗輻照能力。