國家知識產(chǎn)權(quán)局信息顯示,廣州華瑞升陽投資有限公司申請一項名為“寬禁帶半導(dǎo)體器件”的專利,公開號 CN 119170634 A,申請日期為2024年8月。
專利摘要顯示,本發(fā)明公開了一種寬禁帶半導(dǎo)體功率器件,包括至少一個元胞結(jié)構(gòu),元胞結(jié)構(gòu)包括:襯底;寬禁帶半導(dǎo)體層,設(shè)于襯底之上;若干源極溝槽和柵極溝槽,均平行分布于寬禁帶半導(dǎo)體層,且兩者間隔設(shè)置;源區(qū),設(shè)于源、柵極溝槽之間的寬禁帶半導(dǎo)體層中;第一源電極,設(shè)于源極溝槽內(nèi),在源極溝槽側(cè)壁與寬禁帶半導(dǎo)體層形成肖特基接觸;柵電極,設(shè)于柵極溝槽內(nèi);柵介質(zhì)層,包圍柵電極;第二源電極,設(shè)于第一源電極之上,并與源區(qū)形成歐姆接觸;電場調(diào)整區(qū),設(shè)于至少一個第一源電極下方,用于調(diào)整源極溝槽間電場線分布;漏電極,設(shè)于襯底下面;其中,源極溝槽在垂直方向上的延伸長度超過柵極溝槽。本發(fā)明能降低寬禁帶半導(dǎo)體器件導(dǎo)通損耗和柵介質(zhì)層擊穿風(fēng)險。