國家知識產權局信息顯示,成都士蘭半導體制造有限公司申請一項名為“半導體外延結構及其制備方法”的專利,公開號 CN 119181725 A,申請日期為2024年9月。
專利摘要顯示,本發(fā)明提供了一種半導體外延結構及其制備方法,其中半導體外延結構從下至上依次包括:襯底、外延阻擋層、第一外延層、阻擋柵以及第二外延層,阻擋柵包括至少兩個無摻雜結構層。本發(fā)明通過阻擋柵的設計可以降低外延自摻雜效應,解決外延層過渡區(qū)平緩的問題。
國家知識產權局信息顯示,成都士蘭半導體制造有限公司申請一項名為“半導體外延結構及其制備方法”的專利,公開號 CN 119181725 A,申請日期為2024年9月。
專利摘要顯示,本發(fā)明提供了一種半導體外延結構及其制備方法,其中半導體外延結構從下至上依次包括:襯底、外延阻擋層、第一外延層、阻擋柵以及第二外延層,阻擋柵包括至少兩個無摻雜結構層。本發(fā)明通過阻擋柵的設計可以降低外延自摻雜效應,解決外延層過渡區(qū)平緩的問題。