國家知識產(chǎn)權(quán)局信息顯示，九奕半導(dǎo)體設(shè)備（上海）有限公司取得一項(xiàng)名為“一種光刻機(jī)的送料機(jī)構(gòu)”的專利，授權(quán)公告號CN 222330713 U，申請日期為2024年4月。

專利摘要顯示，本實(shí)用新型公開了一種光刻機(jī)的送料機(jī)構(gòu)，本實(shí)用新型涉及光刻機(jī)技術(shù)領(lǐng)域，包括送料裝置本體，送料裝置本體的頂部以及底部分別安裝有限位組件、調(diào)節(jié)組件和穩(wěn)定組件，調(diào)節(jié)組件包括驅(qū)動電機(jī)、固定板、涂膠輥以及連接柱，驅(qū)動電機(jī)的輸出端與固定板的一側(cè)花鍵連接，連接柱的一端轉(zhuǎn)動連接于固定板的另一側(cè)，并且固定板的內(nèi)部螺紋連接有螺紋栓，連接柱的另一端固定連接于涂膠輥的一端，本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在于：通過對固定板位置的移動，來帶動連接柱以及涂膠輥進(jìn)行同步運(yùn)動，再配合螺紋栓將調(diào)節(jié)后固定板的位置進(jìn)行固定，從而使得涂膠輥能夠根據(jù)不同的硅片厚度來調(diào)整自身與傳送帶之間的距離，使得硅片在涂布的過程中更加均勻。

天眼查資料顯示，九奕半導(dǎo)體設(shè)備（上海）有限公司，成立于2021年，位于上海市，是一家以從事批發(fā)業(yè)為主的企業(yè)。企業(yè)注冊資本100萬人民幣。通過天眼查大數(shù)據(jù)分析，九奕半導(dǎo)體設(shè)備（上海）有限公司專利信息8條，此外企業(yè)還擁有行政許可1個。