近日，南大光電在業(yè)績(jī)說(shuō)明會(huì)上表示，公司ArF光刻膠產(chǎn)品開(kāi)發(fā)和產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目，目前已完成25噸光刻膠生產(chǎn)線建設(shè)，主要先進(jìn)光刻設(shè)備，如ASML浸沒(méi)式光刻機(jī)等已經(jīng)完成安裝并投入使用。

 

南大光電稱，用于質(zhì)量檢測(cè)的光刻機(jī)等量測(cè)設(shè)備是國(guó)外進(jìn)口的，公司已經(jīng)配備了，運(yùn)轉(zhuǎn)良好，沒(méi)有被卡的顧慮。主要原材料是自己開(kāi)發(fā)和生產(chǎn)的，沒(méi)有被卡風(fēng)險(xiǎn)。生產(chǎn)設(shè)備是聯(lián)合國(guó)內(nèi)企業(yè)研制的，也不存在被卡風(fēng)險(xiǎn)。

 

2020年底，南大光電自主研發(fā)的ArF光刻膠產(chǎn)品成功通過(guò)下游客戶的使用認(rèn)證，成為通過(guò)產(chǎn)品驗(yàn)證的第一只國(guó)產(chǎn)ArF光刻膠，各項(xiàng)光學(xué)性能均達(dá)到商用膠的水平，可實(shí)現(xiàn)先進(jìn)光刻膠的國(guó)產(chǎn)替代，產(chǎn)業(yè)化取得關(guān)鍵突破，拿到國(guó)產(chǎn)光刻膠的首個(gè)訂單，實(shí)現(xiàn)小批量銷售。

 

據(jù)介紹，目前公司光刻膠產(chǎn)品正在繼續(xù)發(fā)往多個(gè)下游客戶進(jìn)行驗(yàn)證工作，驗(yàn)證進(jìn)展順利。測(cè)試中的ArF光刻膠可以用于邏輯芯片和存儲(chǔ)芯片。從目前測(cè)試結(jié)果看，ArF光刻膠性能上和日本產(chǎn)品達(dá)到同等水平，并實(shí)現(xiàn)了ArF光刻膠國(guó)產(chǎn)化和本土化，打破了 被國(guó)外長(zhǎng)期壟斷的被動(dòng)局面。

 

南大光電表示，公司研發(fā)并產(chǎn)業(yè)化的ArF光刻膠是國(guó)內(nèi)最先進(jìn)的光刻膠。 光刻膠項(xiàng)目今年的主要任務(wù)是完成主要客戶認(rèn)證，明年啟動(dòng)量產(chǎn)，力爭(zhēng)盡早實(shí)現(xiàn)盈利。

 

在硅前驅(qū)體項(xiàng)目方面，南大光電仍在研發(fā)階段。目前實(shí)驗(yàn)室建設(shè)已經(jīng)基本完成，研發(fā)工作正按計(jì)劃推進(jìn)中，其中無(wú)氯TSA、3CDS兩個(gè)產(chǎn)品研發(fā)取得重大突破，產(chǎn)業(yè)化已進(jìn)入準(zhǔn)備階段。

 

在MO源行業(yè)方面，受LED行業(yè)的驅(qū)動(dòng)，未來(lái)LED行業(yè)的發(fā)展機(jī)會(huì)也創(chuàng)造了MO源的增長(zhǎng)空間；同時(shí)MO源在第三代半導(dǎo)體和新一代太陽(yáng)能電池領(lǐng)域的應(yīng)用也為行業(yè)帶來(lái)了新的發(fā)展機(jī)遇。

 

南大光電稱，公司2021年第一季度的扣非凈利潤(rùn)增長(zhǎng)245%，主要是因?yàn)槿蟀雽?dǎo)體材料的布局基本完成，前驅(qū)體和電子特氣業(yè)務(wù)發(fā)展迅速，MO源業(yè)務(wù)回升，光刻膠業(yè)務(wù)客戶認(rèn)證順利推進(jìn)。公司主營(yíng)業(yè)務(wù)的增長(zhǎng)趨勢(shì)良好，可持續(xù)。