日前，華海清科官微發(fā)布消息，公司推出了具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的十二英寸超精密晶圓減薄機(jī)Versatile-GP300，于9月27日發(fā)往某客戶大生產(chǎn)線。
圖片來源：華海清科
圖片來源：華海清科
官方介紹稱，這款設(shè)備能滿足3D IC制造、先進(jìn)封裝等制程的超精密晶圓減薄工藝需求，可提供超精密磨削、拋光、后清洗等多種功能配置，具有高剛性、高精度、工藝開發(fā)靈活等優(yōu)勢(shì)，主要技術(shù)指標(biāo)達(dá)到了國(guó)際先進(jìn)水平，填補(bǔ)了集成電路3D IC制造及先進(jìn)封裝領(lǐng)域中超精密減薄技術(shù)的空白。
據(jù)了解，Versatile-GP300將高效減薄和拋光工藝集成，既能實(shí)現(xiàn)超平整減薄與表面損傷控制，又兼顧高效率與綜合性價(jià)比，更匹配3D IC晶圓減薄市場(chǎng)的迫切需求。
