半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)網(wǎng)消息：3月8日，據(jù)晶盛機(jī)電(300316)官微消息，晶盛機(jī)電晶體實(shí)驗(yàn)室經(jīng)過半年多的工藝測試，全自動MPCVD法生長金剛石設(shè)備（型號XJL200A）成功生長出高品質(zhì)寶石級的金剛石晶體，標(biāo)志著晶盛機(jī)電在硅、藍(lán)寶石、碳化硅等晶體生長設(shè)備家族再添一新成員。
△ 金剛石生長爐
金剛石晶體又稱鉆石，是碳化硅、氮化鎵之后具有代表性的新一代半導(dǎo)體材料，被譽(yù)為“終極半導(dǎo)體”材料，還廣泛用于取代天然鉆石的高端首飾領(lǐng)域。
MPCVD方法生長金剛石晶體具有速度較快，質(zhì)量好，尺寸大等優(yōu)點(diǎn)。晶盛機(jī)電表示，此次XJL200A金剛石生長爐還成功解決了傳統(tǒng)的MPCVD培育鉆石生長技術(shù)的行業(yè)痛點(diǎn)：對多晶及生長裂紋等缺陷的判斷、對晶體溫度和生長厚度等關(guān)鍵生長參數(shù)的控制都依賴人工判斷，克服了目前人工培育鉆石過程中質(zhì)量控制和規(guī)?；a(chǎn)的瓶頸。并且，該設(shè)備經(jīng)過長晶測試表明，能一次可以實(shí)現(xiàn)20顆以上4-5克拉毛坯鉆石的生產(chǎn)能力，設(shè)備穩(wěn)定性好，綜合生長良率高，為大規(guī)模的生產(chǎn)提供了自動化操作的基礎(chǔ)。項(xiàng)目負(fù)責(zé)人表示，目前已經(jīng)完成了設(shè)備定型和批量工藝開發(fā)，設(shè)備即將投放市場，能為客戶提供一站式解決方案。
當(dāng)前，天然鉆石全球年產(chǎn)量約1億克拉，其中可用作珠寶的天然鉆石大約僅占20%。2020年全球培育寶石級鉆石產(chǎn)量約720萬克拉，滲透率僅約6%。目前，人工培育的鉆石在全球消費(fèi)市場快速增長，最終將超越并取代天然鉆石。
晶盛機(jī)電表示，公司長期聚焦半導(dǎo)體材料生長和加工的技術(shù)創(chuàng)新。此次金剛石晶體生長爐研制成功，再次彰顯了公司強(qiáng)大的技術(shù)研發(fā)實(shí)力。
