AIXTRON SE 于近日宣布， Wolfspeed 將在其生產(chǎn)設(shè)施中采用 AIXTRON 公司的 200 毫米行星式反應(yīng)器（Planetary Reactor）技術(shù)，用于制造基于碳化硅 (SiC) 的 MOSFET 和肖特基二極管功率器件。
半導(dǎo)體行業(yè)沉積設(shè)備領(lǐng)先制造商AIXTRON SE 總裁兼首席執(zhí)行官 Felix Grawert 博士表示：“碳化硅是下一代電源管理關(guān)鍵技術(shù)之一。它使我們能夠在半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展中譜寫激動人心的新篇章，并為支持可持續(xù)未來的節(jié)能技術(shù)做出重要貢獻。Wolfspeed 處于 200 毫米碳化硅制造的最前沿，我們很自豪能與 Wolfspeed 合作，幫助將這一最新創(chuàng)新推向市場。”
新的行星式反應(yīng)器將以 6 x 200 毫米的配置交付，這是迄今為止市場上（單個設(shè)備）碳化硅外延最大容量。與現(xiàn)有行星式反應(yīng)器相比，每批次的總外延面積將顯著增加。該設(shè)備將高度自動化，能夠在不干擾生產(chǎn)周期的情況下快速更換零件。這些設(shè)備還將采用溫度控制技術(shù)，以獲得最佳的晶圓性能，以滿足碳化硅晶圓外延層的前沿質(zhì)量要求。
Wolfspeed 首席執(zhí)行官 Gregg Lowe 表示：“對于碳化硅解決方案的需求持續(xù)加速增長，這主要是由汽車、工業(yè)和能源應(yīng)用所推動，因為它們正在從硅技術(shù)轉(zhuǎn)向碳化硅技術(shù)。Wolfspeed 繼續(xù)進行投資，以提高產(chǎn)能并利用碳化硅的優(yōu)勢，幫助向市場提供更大的供應(yīng)。我們感謝與 AIXTRON 的長期、出色的合作關(guān)系。他們是我們的重要合作伙伴，助力我們?nèi)蚴讉€ 200 毫米碳化硅制造工廠產(chǎn)能爬坡。”
Wolfspeed 是碳化硅技術(shù)的全球引領(lǐng)者，目前正在推進其位于美國紐約州馬西莫霍克谷的自動化 200 毫米碳化硅晶圓廠的建成與產(chǎn)能爬坡。由于碳化硅獨特的物理性能，碳化硅能夠?qū)崿F(xiàn)高功率密度和高能源效率，并將推動下一代半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展。
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https://compoundsemiconductor.net/article/114407/Wolfspeed_to_Purchase_AIXTRON_Epitaxial_Tools_to_Ramp_200_mm_Production
關(guān)于 Wolfspeed, Inc.
Wolfspeed（NYSE: WOLF）引領(lǐng)碳化硅（SiC）和氮化鎵（GaN）技術(shù)在全球市場的采用。我們?yōu)楦咝茉垂?jié)約和可持續(xù)未來提供業(yè)界領(lǐng)先的解決方案。Wolfspeed 產(chǎn)品家族包括了 SiC 材料、功率開關(guān)器件、射頻器件，針對電動汽車、快速充電、5G、可再生能源和儲能、以及航空航天和國防等多種應(yīng)用。我們通過勤勉工作、合作以及對于創(chuàng)新的熱情，開啟更多可能。了解更多詳情，敬請訪問 www.wolfspeed.com。
