增資完成后，萬業(yè)企業(yè)持有鐠芯電子的股權(quán)比例將從37.85%下降至29.630%，仍為其第一大股東，大基金二期和裝備材料基金分別持有17.284%、1.975%股權(quán)，分列二、三位。

 

值得關(guān)注的是，國家大基金投資此前覆蓋芯片設(shè)計、制造、封測、材料以及設(shè)備等產(chǎn)業(yè)鏈環(huán)節(jié)為主。本次投資是大基金首次布局半導(dǎo)體零部件公司，被認為具有風(fēng)向標意義。同時，投資方上海裝備材料基金亦是國內(nèi)第一家聚焦半導(dǎo)體裝備材料領(lǐng)域的產(chǎn)業(yè)投資基金。

 

動平衡資本先進制造事業(yè)部投資副總監(jiān)許庭靜在接受記者采訪時表示：“目前國內(nèi)企業(yè)在7大種類的半導(dǎo)體設(shè)備方面都有布局，但往上游穿透到零部件層面，仍然有許多關(guān)鍵零部件受制于海外。這些子行業(yè)一般市場規(guī)模不是特別大，但技術(shù)門檻較高，需要多年的技術(shù)積累、國內(nèi)在這方面還有很多功課需要補，這些年國內(nèi)提倡的‘專精特新’企業(yè)即主要布局這一領(lǐng)域。”

 

資料顯示，鐠芯電子直接持有鐠芯控股73.11%股權(quán)，鐠芯控股直接持有Compart公司100%股權(quán)。Compart公司主要產(chǎn)品包括BTP組件、裝配件、密封件、氣棒總成、氣體流量控制器（MFC）、焊接件等，可應(yīng)用于集成電路制造工藝中氧化/擴散、蝕刻和沉積等設(shè)備所需的精確氣體輸送系統(tǒng)，是集成電路設(shè)備所需的氣體輸送系統(tǒng)領(lǐng)域供應(yīng)商之一。

 

許庭靜認為，鐠芯電子所生產(chǎn)的氣體輸送系統(tǒng)屬于半導(dǎo)體設(shè)備精密機械部件，是一種關(guān)鍵系統(tǒng)。氣體流量控制系統(tǒng)一般是和化學(xué)氣相沉積CVD設(shè)備相配套，下游包括中微公司、北方華創(chuàng)、江蘇微導(dǎo)等。

 

光大證券研報指出，目前本土半導(dǎo)體設(shè)備零部件企業(yè)的技術(shù)能力、工藝水平、產(chǎn)品精度和可靠性與國外差距較大，整體國產(chǎn)化率僅為10%-30%，尤其在Compart相關(guān)的流量控制領(lǐng)域之前的國產(chǎn)化率幾乎為零。除半導(dǎo)體設(shè)備外，半導(dǎo)體設(shè)備核心零部件也是未來國產(chǎn)化的重點領(lǐng)域之一。

 

投資人方面，本次兩家投資方均為萬業(yè)企業(yè)的關(guān)聯(lián)方。其中，大基金二期與持有萬業(yè)企業(yè)5%以上股份的大股東大基金一期存在關(guān)聯(lián)關(guān)系；裝備材料基金GP由萬業(yè)企業(yè)控股股東浦科投資聯(lián)合相關(guān)機構(gòu)共同設(shè)立，浦科投資為裝備材料基金GP的第一大股東。

 

記者查詢獲悉，裝備材料基金頻頻出手，其LP包括大基金一期、萬業(yè)企業(yè)、云南信托、國盛集團、國泰君安創(chuàng)新投、中信建投等知名企業(yè)。截至2022年3月末，裝備材料基金已投資御渡半導(dǎo)體、瀚薪科技、至臨半導(dǎo)體、長晶科技等企業(yè)。其中，所投的翱捷科技已于2022年初掛牌上市，國微思爾芯科創(chuàng)板IPO排隊中。

來源：《科創(chuàng)板日報》