近日,中國招標頭條公公服務(wù)平臺發(fā)布等離子體介質(zhì)刻蝕機中標結(jié)果公告顯示,中微半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司(以下簡稱“中微公司”)中標華虹半導(dǎo)體(無錫)有限公司(以下簡稱“華虹無錫”)12臺刻蝕機。
Source:全國招標投標公共服務(wù)平臺公告
信息顯示,中微公司本次中標的12臺刻蝕機設(shè)備包括3臺鈍化膜等離子體刻蝕機、7臺氧化膜等離子體刻蝕機、2臺氮化硅等離子體刻蝕機。
中微公司主要從事高端半導(dǎo)體設(shè)備及泛半導(dǎo)體設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售,是國內(nèi)高端微觀加工設(shè)備的知名企業(yè)之一。產(chǎn)品主要包括CCP刻蝕設(shè)備、ICP刻蝕設(shè)備、MOCVD設(shè)備等。