南大光電(300346.SZ)5月13日在投資者互動平臺表示，目前主要的檢測設(shè)備如光刻機(jī)已經(jīng)安裝并投入使用。符合公司要求的缺陷檢測設(shè)備目前市場上比較稀缺，公司正在努力推進(jìn)采購工作。 ArF光刻膠驗(yàn)證工作在順利推進(jìn)中。