半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)網(wǎng)訊：隨著科技的飛速發(fā)展，半導(dǎo)體工廠(chǎng)對(duì)于自動(dòng)化生產(chǎn)模式產(chǎn)生了迫切的需求。通過(guò)AMHS智能物流系統(tǒng)在各個(gè)工藝設(shè)備之間進(jìn)行物料傳輸，不僅可以提高工廠(chǎng)的生產(chǎn)效率，還可以監(jiān)控物料的狀態(tài)和每一片晶圓的生產(chǎn)過(guò)程，從而保證產(chǎn)品的品質(zhì)。AMHS系統(tǒng)在半導(dǎo)體行業(yè)被廣泛應(yīng)用，如半導(dǎo)體IC晶圓廠(chǎng)中使用的天車(chē)系統(tǒng)等，但由于其成本投入巨大，在LED晶圓工廠(chǎng)難以實(shí)施，所以L(fǎng)ED晶圓傳輸基本上處于人工操作的原始狀態(tài)，效率較低，也無(wú)法滿(mǎn)足如MiniLED，MicroLED等高端產(chǎn)品的高品質(zhì)要求。