用于半導(dǎo)體制造裝備的氮化鋁陶瓷加熱底盤，是高端氮化鋁精密陶瓷的一大“卡脖子”產(chǎn)品，世界范圍內(nèi)只有京瓷等少數(shù)幾家國(guó)外企業(yè)能生產(chǎn)，目前華清電子材料也實(shí)現(xiàn)了突破。這種加熱底盤是作為半導(dǎo)體工藝腔室中的晶圓加熱器，對(duì)產(chǎn)品純度要求極高，具有高導(dǎo)熱性和耐等離子體性能，且熱量分布均勻，從粉體制備到陶瓷成型燒結(jié)和后段加工等一系列工序的把控要求都非常苛刻。
氮化鋁陶瓷加熱底盤
華清生產(chǎn)的氮化鋁陶瓷加熱底盤，實(shí)現(xiàn)了400mm超大尺寸的突破，同時(shí)具有高導(dǎo)熱性（180W/m·K），可實(shí)現(xiàn)快速加熱和快速冷卻功能。從掃描電鏡圖片看，華清生產(chǎn)的氮化鋁陶瓷內(nèi)部晶粒粒徑均勻，無(wú)明顯晶粒偏大現(xiàn)象，能實(shí)現(xiàn)熱量均勻性分布，無(wú)溫差現(xiàn)象，可應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備（PVD,CVD, ALD,ETCH，顯影機(jī)等）關(guān)鍵核心零部件。
微觀組織結(jié)構(gòu)SEM照片
福建華清電子材料科技有限公司是氮化鋁陶瓷基板的標(biāo)桿企業(yè)，產(chǎn)銷量均位于全球前列。華清電子材料成立于2004年，引進(jìn)清華大學(xué)新型陶瓷與精細(xì)工藝國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室科研成果。目前已申請(qǐng)專利80多項(xiàng)，獲得授權(quán)50多項(xiàng)。廠房面積約4萬(wàn)平米，現(xiàn)有員工人數(shù)近500人。在精密陶瓷領(lǐng)域，公司擁有博士領(lǐng)銜的強(qiáng)大的陶瓷材料研發(fā)團(tuán)隊(duì)。公司配置了國(guó)際先進(jìn)的陶瓷生產(chǎn)、機(jī)械加工和檢測(cè)設(shè)備，擁有流延成型，注射成型，干壓成型，冷等靜壓成型，溫等靜壓成型等多種成型設(shè)備和成熟工藝，可以為客戶提供最佳工藝方案。同時(shí)，還擁有獨(dú)立的實(shí)驗(yàn)室和分析檢測(cè)中心，可為客戶提供定制化開發(fā)和快速分析檢測(cè)服務(wù)。公司生產(chǎn)的精密陶瓷產(chǎn)品，主要包括氮化鋁和氧化鋁陶瓷兩種材料，產(chǎn)品遠(yuǎn)銷美國(guó)、日本、韓國(guó)、俄羅斯等國(guó)家以及中國(guó)臺(tái)灣等地區(qū)。
