據(jù)盛美上海消息，公司宣布獲得來(lái)自歐洲一家全球性半導(dǎo)體制造商的首個(gè)12腔單片SAPS兆聲波清洗設(shè)備訂單。該設(shè)備配置了公司自主研發(fā)的空間交變相位移(SAPS)技術(shù)，預(yù)計(jì)將于2023年第四季度交付至該客戶的歐洲工廠。SAPS工藝清洗效果更加徹底、全面，并且已在1xnm及以下DRAM制造上獲得驗(yàn)證。