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“碳”尋未來,山西中電科公司爭做碳基材料裝備研發(fā)應用領軍者

日期:2023-10-09 閱讀:481
核心提示:本次采用雙伺服電機提升裝備爐門,突破傳統(tǒng)立式真空裝備單伺服電機+軟軸驅動連接方式,將成卷的石墨軟氈卷料展開快速純化,大大

 “本次采用雙伺服電機提升裝備爐門,突破傳統(tǒng)立式真空裝備‘單伺服電機+軟軸’驅動連接方式,將成卷的石墨軟氈卷料展開快速純化,大大提高純化效果。”電科裝備山西中電科公司技術專家表示,這意味著自主研制的國內首臺套石墨軟氈連續(xù)式高溫純化裝備誕生了。

近4年來,山西中電科公司圍繞第三代半導體用高純碳基材料、鋰電碳納米管材料等方面,持續(xù)開展關鍵裝備研發(fā)制造及工藝技術攻關,高溫純化裝備市場占有率超過50%,成功入選第五批國家級“專精特新”小巨人企業(yè)。

深耕核心技術,練就“獨門秘訣”

隨著硅基半導體和第三代半導體的快速發(fā)展,市場對高純石墨相關材料需求大幅增加。太陽能、半導體、人工晶體、光纖、高端真空燒結爐、熱處理爐、高頻感應爐等領域,對石墨軟氈提出更高要求。不僅是數(shù)量的增加,更是質量的提高。

“現(xiàn)有石墨軟氈純化裝備生產效率低,純度低、熱輻射造成大量能源損耗等現(xiàn)象一直是行業(yè)技術難題,純化效率和純化質量是石墨軟氈純化裝備最核心的技術指標。”技術專家表示??蒲袌F隊反復鉆研攻關,最終研制出國內首臺套石墨軟氈連續(xù)式高溫純化裝備,使石墨軟氈達到純化指標的要求,打通“堵點”,保證了純化效率和純化質量。

該裝備的投產,助推國內高溫純化裝備與工藝進一步飛躍,有效解決石墨軟氈高溫純化裝備領域關鍵核心問題,具有廣闊的市場前景。

立足行業(yè)所趨,推出純化裝備譜系產品

為適應半導體產業(yè)的快速發(fā)展,山西中電科公司持續(xù)開展技術攻關,推出純化裝備譜系產品,立式高溫純化裝備、臥式高溫純化裝備、立式石墨化裝備、臥式石墨化裝備、高效沉積裝備等,產品技術及質量均達到領先水平,已廣泛應用于半導體、太陽能等多個行業(yè)。

技術領先、產品過硬,為山西中電科公司“敲”開廣闊市場。作為山西省第三代半導體重點產業(yè)鏈鏈核企業(yè),公司深度支撐“國家第三代半導體技術創(chuàng)新中心(山西)”建設,逐步實現(xiàn)單體裝備向連續(xù)式、高效高溫純化工藝裝備迭代發(fā)展,研發(fā)低硼、低鋁的新型純化裝備,與當前高溫純化技術疊加,更好的滿足第三代半導體高純石墨材料的使用需求。

面向未來,山西中電科公司將依托碳基材料制備技術持續(xù)深耕,著力提升石墨材料的高溫純化工藝水平,加速推出更多新型高溫純化系列裝備,不斷壯大產品譜系,為推動我國高溫純化裝備自立自強貢獻積極力量。

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