近日，至純科技在接受機(jī)構(gòu)調(diào)研時(shí)表示，公司濕法清洗設(shè)備可覆蓋28納米全工藝工序段并有重復(fù)訂單，在14及7納米制程也有數(shù)臺(tái)訂單交付客戶，公司在濕法清洗領(lǐng)域可實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)替代。

據(jù)介紹，單片硫酸設(shè)備為濕法設(shè)備中難度最高的工藝機(jī)臺(tái)，至純科技S300 SPM機(jī)臺(tái)已交付給多家國內(nèi)主流晶圓廠，并已經(jīng)應(yīng)用于國內(nèi)頭部客戶的12英寸邏輯量產(chǎn)線，月產(chǎn)能最高可達(dá)6萬片次以上。單設(shè)備在用戶量產(chǎn)線上的累計(jì)產(chǎn)量已超過20萬片次，是為高階濕法設(shè)備國產(chǎn)替代進(jìn)口的重要里程碑。至純科技表示，目前公司是國內(nèi)單片硫酸設(shè)備達(dá)到上述單機(jī)臺(tái)量產(chǎn)指標(biāo)的唯一廠商。

至純科技同時(shí)稱，公司濕法設(shè)備應(yīng)用于成熟制程的產(chǎn)品線拓展有序，在部分邏輯用戶和第三代半導(dǎo)體用戶的產(chǎn)線滲透率持續(xù)提高。應(yīng)用于先進(jìn)制程的高階產(chǎn)品線，在訂單獲取的進(jìn)度上受到用戶擴(kuò)產(chǎn)進(jìn)度影響有延后，但在高溫硫酸、FINETCH、單片磷酸等尚被國際廠商壟斷的機(jī)臺(tái)，公司交付和驗(yàn)證進(jìn)度都在國內(nèi)領(lǐng)先。

至純科技同時(shí)從系統(tǒng)集成延伸至盈利能力更強(qiáng)的材料端，2022年初建成國內(nèi)第一座電子級(jí)大宗氣供應(yīng)工廠，目前已穩(wěn)定運(yùn)行一年多，每年可貢獻(xiàn)穩(wěn)定的營收，這是國內(nèi)完全自主建設(shè)的第一座ONSITE大宗氣供應(yīng)工廠，至純科技表示，公司繼續(xù)在電子氣電子化學(xué)品方面拓展業(yè)務(wù)及品類，增加電子材料端的業(yè)務(wù)投入。