據(jù)國家知識產(chǎn)權局公告,比亞迪(002594)半導體股份有限公司申請一項名為“終端結構及其制造方法以及功率器件“,公開號CN117673117A,申請日期為2022年8月。
專利摘要顯示,本發(fā)明屬于半導體技術領域,特別是涉及終端結構及其制造方法以及功率器件。終端結構包括第一電極層、絕緣介質層、襯底和第二電極層,絕緣介質層、襯底和第二電極層層疊設置,襯底上設置有主結、摻雜場終止環(huán)、第一場限環(huán)和摻雜層,主結設置在襯底的內側,摻雜場終止環(huán)設置在襯底的外側,第一場限環(huán)環(huán)繞主結,摻雜層沿著第一場限環(huán)的一側的外壁延伸至第一場限環(huán)的底部;摻雜層的摻雜濃度大于襯底的摻雜濃度。本發(fā)明實施例提供的終端結構,摻雜層摻雜濃度大于襯底的摻雜濃度,能夠對電場具有牽引作用,從而減輕電場在絕緣介質層表面的集中作用,減小表面電場,提高擊穿電壓,提高耐壓值。