近日，據(jù)日本中央玻璃股份有限公司（Central Glass）官網(wǎng)消息，該公司將參與日本新能源和工業(yè)技術(shù)開(kāi)發(fā)組織（NEDO）的綠色創(chuàng)新基金項(xiàng)目，開(kāi)展“高質(zhì)量8英寸SiC單晶/晶片制造技術(shù)開(kāi)發(fā)”，采用液相法研究和開(kāi)發(fā)SiC晶片。

據(jù)介紹，Central Glass自2022 年4月以來(lái)就一直在研究開(kāi)發(fā)SiC液相法技術(shù)，現(xiàn)該項(xiàng)目已轉(zhuǎn)型為NEDO綠色創(chuàng)新基金資助項(xiàng)目（項(xiàng)目期限為2022財(cái)年至2029財(cái)年），將進(jìn)一步助推他們實(shí)現(xiàn)世界級(jí)高品質(zhì)8英寸碳化硅晶片的落地量產(chǎn)。

據(jù)悉，目前國(guó)內(nèi)對(duì)液相法生長(zhǎng)碳化硅的研究也是如火如荼，主要研制單位有中科院物理所，山東大學(xué)，浙江大學(xué)，天岳先進(jìn)，晶格領(lǐng)域，常州臻晶等等。

2023年，天岳先進(jìn)在Semicon China展會(huì)上宣布，他們通過(guò)對(duì)溫場(chǎng)和流場(chǎng)進(jìn)行控制等，采用液相法制備出了低缺陷的8英寸晶體。

2024年初，中國(guó)科學(xué)院物理研究所宣布采用高溫液相法，在六方碳化硅(4H-SiC)籽晶上實(shí)現(xiàn)了2-4英寸、厚度4-10mm、立方碳化硅(3C-SiC)的異質(zhì)形核和晶體穩(wěn)定生長(zhǎng)。