5月12日，御微首臺(tái)掩?；迦毕輽z測(cè)產(chǎn)品Halo-100在御微合肥成功發(fā)運(yùn)，并順利交付國(guó)內(nèi)先進(jìn)掩模廠。

御微半導(dǎo)體官方消息顯示，其Halo-100設(shè)備是御微“掩模全生命周期質(zhì)量控制”產(chǎn)品線(xiàn)的第二款產(chǎn)品，以高精度光學(xué)系統(tǒng)、高穩(wěn)定性運(yùn)動(dòng)臺(tái)系統(tǒng)以及高潔凈度環(huán)控與傳輸系統(tǒng)為基礎(chǔ)，結(jié)合御微半導(dǎo)體專(zhuān)有的算法和軟件系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)了針對(duì)掩?；澹╞lank）缺陷檢測(cè)的需求，并將掩模檢測(cè)的應(yīng)用領(lǐng)域拓展至掩模廠來(lái)料檢和掩?；鍙S全制程控制檢。

據(jù)介紹，在掩模基板廠中，Halo-100設(shè)備可以運(yùn)用在玻璃基板來(lái)料檢、多層鍍膜過(guò)程檢和成品出貨檢等環(huán)節(jié)，助力客戶(hù)在每個(gè)制程節(jié)點(diǎn)監(jiān)測(cè)潔凈度情況。