GaN具有更高的擊穿場(chǎng)強(qiáng)、熱導(dǎo)率以及電子飽和速度,使得基于GaN的功率器件能夠在更低的能耗下運(yùn)行,同時(shí)實(shí)現(xiàn)更高的效率和更小的體積。此外,由于GaN材料的寬帶隙特性,它能夠承受更高的工作溫度,從而進(jìn)一步拓寬了其在嚴(yán)苛環(huán)境下的應(yīng)用范圍。
在制造GaN功率器件的眾多環(huán)節(jié)中,外延層的制備顯得尤為關(guān)鍵。目前普遍采用的是異質(zhì)外延技術(shù)。雖然該技術(shù)存在一些晶格失配和熱失配的問(wèn)題,導(dǎo)致位錯(cuò)密度較高,但隨著技術(shù)的不斷進(jìn)步,這些問(wèn)題正在逐步得到緩解。特別是自支撐GaN襯底的發(fā)展,為GaN垂直功率器件的研究和應(yīng)用提供了新的動(dòng)力,有助于降低位錯(cuò)密度并提升器件性能。
在外延層的生長(zhǎng)方式上,氫化物氣相外延(HVPE)和氨熱法各有所長(zhǎng)。前者成本較低且較為成熟,而后者在晶體質(zhì)量和重復(fù)性方面表現(xiàn)更佳,但對(duì)設(shè)備的要求也更為嚴(yán)格。這些不同的生長(zhǎng)方式為GaN功率器件的制備提供了多樣化的選擇,以滿足不同應(yīng)用場(chǎng)景的需求。
在當(dāng)前產(chǎn)業(yè)進(jìn)展中,國(guó)鎵半導(dǎo)體已深度參與氮化鎵(GaN)的產(chǎn)業(yè)化浪潮。國(guó)鎵半導(dǎo)體正通過(guò)技術(shù)創(chuàng)新努力降低成本并提高產(chǎn)品品質(zhì),以迎合市場(chǎng)對(duì)高性能、低價(jià)位的GaN功率器件的需求。值得關(guān)注的是,無(wú)論是同質(zhì)還是異質(zhì)外延技術(shù),GaN外延層的品質(zhì)近年顯著提升,雜質(zhì)濃度降低,為GaN垂直器件的發(fā)展提供了堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。
隨著5G通訊、電動(dòng)車、可再生能源等領(lǐng)域的快速發(fā)展,對(duì)高效和小型化的功率器件需求日益增長(zhǎng)。鑒于其獨(dú)特的性能優(yōu)勢(shì),GaN材料在未來(lái)功率器件市場(chǎng)中將扮演更為重要的角色。從現(xiàn)有應(yīng)用趨勢(shì)分析,GaN功率器件已經(jīng)在適配器、電動(dòng)車輛、風(fēng)力發(fā)電機(jī)、光伏逆變器等多個(gè)領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用,其高效率和可靠性已經(jīng)獲得市場(chǎng)的驗(yàn)證和認(rèn)可。
GaN(氮化鎵)材料由于其卓越的物理特性和化學(xué)穩(wěn)定性,在功率器件的應(yīng)用上展現(xiàn)出顯著的潛力。技術(shù)的持續(xù)進(jìn)步及成本降低預(yù)示著在不久的將來(lái),GaN功率器件將在多個(gè)領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用,從而推動(dòng)半導(dǎo)體行業(yè)向更高效、環(huán)保的方向邁進(jìn)。
(來(lái)源:國(guó)鎵半導(dǎo)體)