天眼查知識(shí)產(chǎn)權(quán)信息顯示，浙江晶盛機(jī)電股份有限公司取得一項(xiàng)名為“晶圓形貌測(cè)量方法及設(shè)備“，授權(quán)公告號(hào)CN202410359387.3，申請(qǐng)日期為2024年3月。

專利摘要顯示，本發(fā)明涉及晶圓測(cè)量技術(shù)領(lǐng)域，具體公開(kāi)了一種晶圓形貌測(cè)量方法及設(shè)備，該晶圓形貌測(cè)量方法包括S1、獲取待測(cè)晶圓的測(cè)量數(shù)據(jù)；S2、基于測(cè)量數(shù)據(jù)和數(shù)據(jù)庫(kù)中的仿真晶圓進(jìn)行匹配，確定匹配晶圓；S3、根據(jù)匹配晶圓獲取相應(yīng)的重力變形量；S4、基于待測(cè)晶圓的測(cè)量數(shù)據(jù)和目標(biāo)晶圓的重力變形量確定待測(cè)晶圓的實(shí)際形貌。上述設(shè)置提高了晶圓真實(shí)形貌的準(zhǔn)確性。

來(lái)源：金融界